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liaofang20银虫 (小有名气)
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纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事 已有2人参与
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| 我直流磁控溅射纯铝，但是电流可以增大，电压一直在200V左右，以前的电压会在400V以上的。溅射的辉光是红色的，靶表面有氧化物，但是靶表面有氧化物不是电流升不高，电压比较高的嘛，很纳闷，不知道如何解释。哪位高手能解答？ |
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2楼2014-06-24 15:14:50
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3楼2014-06-25 15:56:49
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4楼2014-06-25 16:52:47