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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事 已有2人参与

我直流磁控溅射纯铝,但是电流可以增大,电压一直在200V左右,以前的电压会在400V以上的。溅射的辉光是红色的,靶表面有氧化物,但是靶表面有氧化物不是电流升不高,电压比较高的嘛,很纳闷,不知道如何解释。哪位高手能解答?
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-24 15:14:50
根据Paschen定律,直流磁控溅射的电压不是决定于氩气气压与正负极的板距吗?改变任何一个因素都可提高溅射电压的。

因为这两个靶有用过,在同一个设备和同样的条件下,就是气压还是那个气压,板剧啥的都没变。
3楼2014-06-25 15:56:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, 有帮助 2014-06-25 15:55:35
根据Paschen定律,直流磁控溅射的电压不是决定于氩气气压与正负极的板距吗?改变任何一个因素都可提高溅射电压的。
2楼2014-06-24 15:14:50
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 有帮助 2014-06-26 13:48:34
引用回帖:
3楼: Originally posted by liaofang20 at 2014-06-25 15:56:49
因为这两个靶有用过,在同一个设备和同样的条件下,就是气压还是那个气压,板剧啥的都没变。...

那是不是溅射反应室气体的纯度发生了改变了呢?
4楼2014-06-25 16:52:47
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hrhhrh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, 有帮助 2014-06-26 13:45:12
纯金属的二次电子发射系数要低一些,溅射电压高是正常现象,靶表面溅干净就好了,如果一直没有变化,要查一下系统漏气。
5楼2014-06-26 11:14:52
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