应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1897  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事 已有2人参与

我直流磁控溅射纯铝，但是电流可以增大，电压一直在200V左右，以前的电压会在400V以上的。溅射的辉光是红色的，靶表面有氧化物，但是靶表面有氧化物不是电流升不高，电压比较高的嘛，很纳闷，不知道如何解释。哪位高手能解答？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-06-24 14:19:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hrhhrh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, ★有帮助 2014-06-26 13:45:12
纯金属的二次电子发射系数要低一些，溅射电压高是正常现象，靶表面溅干净就好了，如果一直没有变化，要查一下系统漏气。
赞一下 回复此楼
5楼2014-06-26 11:14:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, ★有帮助 2014-06-25 15:55:35
根据Paschen定律，直流磁控溅射的电压不是决定于氩气气压与正负极的板距吗？改变任何一个因素都可提高溅射电压的。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2014-06-24 15:14:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-24 15:14:50
根据Paschen定律，直流磁控溅射的电压不是决定于氩气气压与正负极的板距吗？改变任何一个因素都可提高溅射电压的。

因为这两个靶有用过，在同一个设备和同样的条件下，就是气压还是那个气压，板剧啥的都没变。
赞一下 回复此楼
3楼2014-06-25 15:56:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, ★有帮助 2014-06-26 13:48:34
引用回帖:
3楼: Originally posted by liaofang20 at 2014-06-25 15:56:49
因为这两个靶有用过，在同一个设备和同样的条件下，就是气压还是那个气压，板剧啥的都没变。...

那是不是溅射反应室气体的纯度发生了改变了呢？
赞一下 回复此楼
4楼2014-06-25 16:52:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 福建理工大学材料学院先进合金团队招收考研调剂学生 +3 大华金商都 2026-03-30 4/200 2026-03-31 01:04 by 方英俊602
[考研] 一志愿 南京航空航天大学 ，080500材料科学与工程学硕 +3 @taotao 2026-03-30 3/150 2026-03-31 00:13 by jp9609
[考研] 08工科求调剂286 +4 tgs_001 2026-03-28 4/200 2026-03-30 21:03 by dophin1985
[考研] 304材料求调剂 +5 钟llll 2026-03-26 5/250 2026-03-30 19:37 by 源_2020
[考研] 085601材料工程找调剂 +17 oatmealR 2026-03-29 18/900 2026-03-30 19:21 by Wang200018
[考研] 085600 材料与化工 329分求调剂 +18 Mr. Z 2026-03-25 19/950 2026-03-30 19:01 by Wang200018
[考研] 317分 一志愿南理工材料工程 本科湖工大 求调剂 +12 芋泥小铃铛 2026-03-28 12/600 2026-03-30 17:06 by wangjy2002
[考研] 310求调剂 +10 争取九点睡 2026-03-30 10/500 2026-03-30 16:45 by ztnimte
[考研] 考研调剂 +5 Sanmu-124 2026-03-26 5/250 2026-03-30 13:36 by chemdavid
[考研] 282求调剂 +4 wcq131415 2026-03-24 4/200 2026-03-30 10:39 by Delta2012
[考研] 318一志愿吉林大学生物与医药 求调剂 +5 笃行致远. 2026-03-28 5/250 2026-03-30 06:56 by ilovexiaobin
[考研] 求调剂 +4 QiMing7 2026-03-25 5/250 2026-03-29 21:10 by 唐沐儿
[考研] 279求调剂 +4 蝶舞轻绕 2026-03-29 4/200 2026-03-29 09:45 by laoshidan
[考研] 322求调剂 +5 旧吢 2026-03-24 5/250 2026-03-28 13:26 by Iveryant
[考研] 一志愿上海理工能源动力（085800）310分求调剂 +3 zhangmingc 2026-03-27 4/200 2026-03-27 19:01 by 给你你注意休息
[考研] 085601 材料工程 313分 求调剂 +5 Ong3 2026-03-27 5/250 2026-03-27 12:24 by goldfish51
[考研] 考研调剂 +10 呼呼？~+123456 2026-03-24 10/500 2026-03-27 11:46 by wangjy2002
[考研] 调剂 +3 李嘉图·S·路 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:19 by wangjy2002
[考研] 085602 289分求调剂 +8 WWW西西弗斯 2026-03-24 8/400 2026-03-26 16:33 by 不吃魚的貓
[考研] 调剂 +4 13853210211 2026-03-24 4/200 2026-03-24 19:44 by ms629
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭