应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事
51/1返回列表
查看: 2284  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事 已有2人参与

我直流磁控溅射纯铝，但是电流可以增大，电压一直在200V左右，以前的电压会在400V以上的。溅射的辉光是红色的，靶表面有氧化物，但是靶表面有氧化物不是电流升不高，电压比较高的嘛，很纳闷，不知道如何解释。哪位高手能解答？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-06-24 14:19:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-25 16:52:47
那是不是溅射反应室气体的纯度发生了改变了呢？...

Ar气是同一家的，这个纯度变没变也不知道啊
赞一下 回复此楼
6楼2014-06-26 13:48:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, ★有帮助 2014-06-25 15:55:35
根据Paschen定律，直流磁控溅射的电压不是决定于氩气气压与正负极的板距吗？改变任何一个因素都可提高溅射电压的。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2014-06-24 15:14:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-24 15:14:50
根据Paschen定律，直流磁控溅射的电压不是决定于氩气气压与正负极的板距吗？改变任何一个因素都可提高溅射电压的。

因为这两个靶有用过，在同一个设备和同样的条件下，就是气压还是那个气压，板剧啥的都没变。
赞一下 回复此楼
3楼2014-06-25 15:56:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, ★有帮助 2014-06-26 13:48:34
引用回帖:
3楼: Originally posted by liaofang20 at 2014-06-25 15:56:49
因为这两个靶有用过，在同一个设备和同样的条件下，就是气压还是那个气压，板剧啥的都没变。...

那是不是溅射反应室气体的纯度发生了改变了呢？
赞一下 回复此楼
4楼2014-06-25 16:52:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭