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xjian2010

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么 已有6人参与

请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么?为什么需要?如果不通氧气效果会差一些么,谢谢
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horse1825

银虫 (初入文坛)


xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-10 18:07:56
帮忙顶下啊,真不清楚
2楼2010-10-10 15:28:18
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xjian2010

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by horse1825 at 2010-10-10 15:28:18:
帮忙顶下啊,真不清楚

谢谢哈
3楼2010-10-10 18:08:23
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liujian1988

金虫 (小有名气)


xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-11 15:01:40
我觉得应该通氧气,如果不通氧气,那就有空气在里面,可能导致电极不纯。
4楼2010-10-11 12:27:03
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xjian2010

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by liujian1988 at 2010-10-11 12:27:03:
我觉得应该通氧气,如果不通氧气,那就有空气在里面,可能导致电极不纯。

其实已经抽真空到10负四次方,并且有通入氩气作保护气了,工作氛围是纯的。谢谢哈
5楼2010-10-11 15:01:34
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issp_summer

金虫 (小有名气)


xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-14 15:33:21
是不是钝化处理的问题啊  使界面更优异点  ?
6楼2010-10-14 15:32:50
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xjian2010

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by issp_summer at 2010-10-14 15:32:50:
是不是钝化处理的问题啊  使界面更优异点  ?

大哥,能不能讲详细点啊。。
7楼2010-10-14 15:33:54
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issp_summer

金虫 (小有名气)

xjian2010(金币+1): 2010-10-14 15:38:05
我也不做这方面的  但是觉得如果界面不好存在很多O空位 可能导致复合中心引入少量o,可以形成在界面处形成Pt-O- 从而减少o空位 ?
8楼2010-10-14 15:37:36
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xjian2010

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by issp_summer at 2010-10-14 15:37:36:
我也不做这方面的  但是觉得如果界面不好存在很多O空位 可能导致复合中心引入少量o,可以形成在界面处形成Pt-O- 从而减少o空位 ?

额,那有没有氧气会不会影响铂对电极的性能呢,猜测下,呵呵
9楼2010-10-14 15:38:53
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rggaofeng

木虫 (著名写手)


xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-15 16:43:06
估计会影响,因为不通氧镀出的膜与通氧镀出的膜成分不同
10楼2010-10-14 16:13:09
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