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xjian2010

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么 已有6人参与

请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么?为什么需要?如果不通氧气效果会差一些么,谢谢
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liujian1988

金虫 (小有名气)

★
xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-11 15:01:40
我觉得应该通氧气,如果不通氧气,那就有空气在里面,可能导致电极不纯。
4楼2010-10-11 12:27:03
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horse1825

银虫 (初入文坛)

顶

★
xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-10 18:07:56
帮忙顶下啊,真不清楚
2楼2010-10-10 15:28:18
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xjian2010

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by horse1825 at 2010-10-10 15:28:18:
帮忙顶下啊,真不清楚

谢谢哈
3楼2010-10-10 18:08:23
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xjian2010

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by liujian1988 at 2010-10-11 12:27:03:
我觉得应该通氧气,如果不通氧气,那就有空气在里面,可能导致电极不纯。

其实已经抽真空到10负四次方,并且有通入氩气作保护气了,工作氛围是纯的。谢谢哈
5楼2010-10-11 15:01:34
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