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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么
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xjian2010

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么 已有6人参与

请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么？为什么需要？如果不通氧气效果会差一些么，谢谢
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1楼 2010-10-06 22:03:02
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horse1825

银虫 (初入文坛)

顶

★
xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-10 18:07:56
帮忙顶下啊，真不清楚
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2楼2010-10-10 15:28:18
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xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by horse1825 at 2010-10-10 15:28:18:
帮忙顶下啊，真不清楚

谢谢哈
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3楼2010-10-10 18:08:23
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liujian1988

金虫 (小有名气)
★
xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-11 15:01:40
我觉得应该通氧气，如果不通氧气，那就有空气在里面，可能导致电极不纯。
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4楼2010-10-11 12:27:03
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xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by liujian1988 at 2010-10-11 12:27:03:
我觉得应该通氧气，如果不通氧气，那就有空气在里面，可能导致电极不纯。

其实已经抽真空到10负四次方，并且有通入氩气作保护气了，工作氛围是纯的。谢谢哈
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5楼2010-10-11 15:01:34
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issp_summer

金虫 (小有名气)
★
xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-14 15:33:21
是不是钝化处理的问题啊  使界面更优异点  ?
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6楼2010-10-14 15:32:50
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xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by issp_summer at 2010-10-14 15:32:50:
是不是钝化处理的问题啊  使界面更优异点  ?

大哥，能不能讲详细点啊。。
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7楼2010-10-14 15:33:54
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issp_summer

金虫 (小有名气)
xjian2010(金币+1): 2010-10-14 15:38:05
我也不做这方面的  但是觉得如果界面不好存在很多O空位　可能导致复合中心引入少量o，可以形成在界面处形成Pt-O-　从而减少o空位　？
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8楼2010-10-14 15:37:36
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xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by issp_summer at 2010-10-14 15:37:36:
我也不做这方面的  但是觉得如果界面不好存在很多O空位　可能导致复合中心引入少量o，可以形成在界面处形成Pt-O-　从而减少o空位　？

额，那有没有氧气会不会影响铂对电极的性能呢，猜测下，呵呵
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9楼2010-10-14 15:38:53
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rggaofeng

木虫 (著名写手)
★
xjian2010(金币+1):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-15 16:43:06
估计会影响，因为不通氧镀出的膜与通氧镀出的膜成分不同
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10楼2010-10-14 16:13:09
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