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【求助】请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么
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xjian2010
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【求助】请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么
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请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么?为什么需要?如果不通氧气效果会差一些么,谢谢
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1楼
2010-10-06 22:03:02
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issp_summer
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xjian2010(金币
+1
):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-14 15:33:21
是不是钝化处理的问题啊 使界面更优异点 ?
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6楼
2010-10-14 15:32:50
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horse1825
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xjian2010(金币
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xjian2010(金币+1): 2010-10-10 18:07:56
帮忙顶下啊,真不清楚
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2楼
2010-10-10 15:28:18
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xjian2010
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专业: 无机非金属基复合材料
引用回帖:
Originally posted by
horse1825
at 2010-10-10 15:28:18:
帮忙顶下啊,真不清楚
谢谢哈
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3楼
2010-10-10 18:08:23
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liujian1988
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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xjian2010(金币
+1
):谢谢参与
xjian2010(金币+1): 2010-10-11 15:01:40
我觉得应该通氧气,如果不通氧气,那就有空气在里面,可能导致电极不纯。
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4楼
2010-10-11 12:27:03
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