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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么
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xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by rggaofeng at 2010-10-14 16:13:09:
估计会影响，因为不通氧镀出的膜与通氧镀出的膜成分不同

那哪种膜更适合做对电极用呢
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11楼2010-10-15 16:43:44
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zhilihu

木虫 (职业作家)
★
xjian2010(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by xjian2010 at 2010-10-06 22:03:02:
请问射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气么？为什么需要？如果不通氧气效果会差一些么，谢谢

什么是PT对电池？
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12楼2011-03-21 16:20:34
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xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by zhilihu at 2011-03-21 16:20:34:
什么是PT对电池？

铂对电极
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13楼2011-03-21 17:53:12
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piqihenhaode

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
大多数文献对于pt、au的报道中都认为不会有pt-o键或者au-o键产生，如果是ti、w电极的话通入氧气是有影响的会有氧化物的界面层产生，一般磁控溅射的话，不太可能会在度电极的时候通氧气的
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千篇一律
14楼2011-03-21 23:46:42
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xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by piqihenhaode at 2011-03-21 23:46:42:
大多数文献对于pt、au的报道中都认为不会有pt-o键或者au-o键产生，如果是ti、w电极的话通入氧气是有影响的会有氧化物的界面层产生，一般磁控溅射的话，不太可能会在度电极的时候通氧气的

many thanks
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15楼2011-03-22 15:59:21
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
16楼2011-12-22 07:54:15
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gaozhi5512

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
PT和氧气不反应！通入氧气应该是为了影响靶面而和膜层无关的。貌似通入微量氧气后的靶面溅射后会更干净，你可以不通一次 观察下有什么不同 ，求上图分享，嘿嘿！
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17楼2011-12-27 14:36:44
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nlw175

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
楼主有钱人，我们老板犹豫再三还是不想买Pt靶。请问一块直径50mm，厚度尽量小的Pt靶多少钱？
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18楼2011-12-27 21:05:52
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
射频生长Pt一般用多大功率、生长速度多大啊？
Pt导电性很好，一般是不是用直流啊？
我最近需要镀银，可没有直流电源，也只能用射频，想看看楼主镀Pt的情况做参考
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19楼2012-12-25 15:23:34
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