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robin_xmu

金虫 (小有名气)

[求助] 求助哪可查到各种材料的相对溅射速率值

RT。。用磁控溅射镀膜,请教各位大神哪里可查到?比如Cr、Zr、Al、Zn、Y

先谢过各位关注以及路过的大神。。
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robin_xmu

金虫 (小有名气)

求大神帮忙啊。。
2楼2012-03-08 12:53:47
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wanyue1111

木虫 (著名写手)

这个溅射速率和你的仪器有很大关系吧,不过一般金属的成膜速度应该比较大。最好在做完膜以后,再测量厚度,就能知道速度了。
天空飘来五个字,这都不叫事!
3楼2012-03-25 14:12:10
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wanyue1111

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
youmengren: 金币+1, 感谢交流 2012-03-25 15:24:00
robin_xmu: 金币+1, 有帮助, 谢谢,主要想做个对比,看看合金靶溅射出的各元素比例是否跟溅射率有关 2012-03-25 23:05:45
这个溅射速率和你的仪器有很大关系吧,不过一般金属的成膜速度应该比较大。最好在做完膜以后,再测量厚度,就能知道速度了。
天空飘来五个字,这都不叫事!
4楼2012-03-25 14:12:26
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reagan251

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
robin_xmu: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-04-10 22:23:37
robin_xmu: 金币+8, ★★★很有帮助 2012-05-14 18:45:26
貌似溅射速率是和仪器有有很大关系的!功率,气压,貌似也有影响的吧!而且磁控溅射也有铁磁靶和强磁靶等不同靶的吧!
5楼2012-04-05 09:55:36
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