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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
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bsjia

木虫 (正式写手)

屁虫

[交流] 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压 已有7人参与

射频溅射过程中反射功率升高而没有注意到，现在不能起辉了，自偏压也没有，是不是设备坏了啊？怎么维修啊，请高手指点！！
急！还没有跟老板说呢！谢谢
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谁能把我领上道，我感谢他八辈祖宗！
1楼 2010-10-25 20:35:37
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
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通过手动调节电源功率,匹配器是自动的，反射功率过高时，通过调节c1,c2来调低反射功率，

这个匹配器到底是自动还是手动啊? 自动的话, 发射功率过高时匹配器会自己来调节, 而不需要手动.
估计不是你的电缆短路了就是你的溅射阴极(靶位短路了), 国产电源是有坏的问题, 但是还是先排除其它问题吧.
用万用表测试同轴电缆线两端看是否断路, 以及测试中心线跟绝缘层直接是否短路, 测试电缆线两端都从设备上拆下来.
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12楼2014-07-06 11:48:44
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普通回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
bsjia(金币+2):需要怎么处理啊，新手，不太明白啊 2010-10-25 21:12:52
bsjia(金币+1): 是电源还是匹配器的问题啊？ 2010-10-25 21:15:53
很有可能是连接线或者电极短路了。
射频电源都有自保护功能，不容易坏的。
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2楼2010-10-25 20:45:39
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
bsjia(金币+1):， 2010-10-26 20:37:14
请详细描述你的电源以及出现的问题，光凭上面的描述很难推断具体的问题。
电源是国产的还是进口的？匹配器是手动还是自动的？腔室中的电缆以及电源到匹配器，匹配器到腔室中的电缆是否都没有问题？腔室的功率连接口是否有问题？
这些都可以用万用表快速、简单的检测出来。
有没有标准负载，用它可以测试电源和匹配器是否工作正常。
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3楼2010-10-26 00:24:57
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bsjia

木虫 (正式写手)

屁虫
引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-10-26 00:24:57:
请详细描述你的电源以及出现的问题，光凭上面的描述很难推断具体的问题。
电源是国产的还是进口的？匹配器是手动还是自动的？腔室中的电缆以及电源到匹配器，匹配器到腔室中的电缆是否都没有问题？腔室的功率连接 ...

我使用的射频电源和射频匹配器都是国产的（北京泰科诺科技JCP-350磁控溅射镀膜机），通过手动调节电源功率,匹配器是自动的，反射功率过高时，通过调节c1,c2来调低反射功率，上次做实验时反射功率过大一段时间没有注意到，发现时，发现自偏压变为零，调整电源功率自偏压也不出现了。在再次开机做实验时，始终没有自偏压，但是调整电源功率，射频匹配器上前级功率和反射功率都有，但靶上不起辉。 今天一直没有空，没有去按您说的去检查电缆线。 以上描述不知道能否判断故障在哪里？

[ Last edited by bsjia on 2010-10-26 at 21:04 ]
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谁能把我领上道，我感谢他八辈祖宗！
4楼2010-10-26 20:46:03
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tonylei1990

银虫 (初入文坛)
★
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我的反射功率怎么也很高，但是正常起辉。。。。
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5楼2013-12-09 09:38:07
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遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
★
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5楼: Originally posted by tonylei1990 at 2013-12-09 09:38:07
我的反射功率怎么也很高，但是正常起辉。。。。

反射功率高了，溅射的速率会减小很多啊
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天生乐观，自由奋斗。
6楼2013-12-10 13:42:46
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tonylei1990

银虫 (初入文坛)
★
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6楼: Originally posted by 遮天绿叶 at 2013-12-10 13:42:46
反射功率高了，溅射的速率会减小很多啊...

太巧了，今天我调了下协调，我的反射功率就降下来了。。。原来怎么调也降不下来，好奇怪啊~
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7楼2013-12-12 16:28:25
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swxby

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
反射功率要控制在两个刻度之内，否者太浪费了。
把腔室开清理一下，靶托打磨一下。
一般是短路，先换个靶材试试。不行就看看电源箱里面那些插指电容一样的东西有没有晒坏，烧穿。
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喵了个咪的~
8楼2013-12-12 21:27:11
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dai087320

金虫 (小有名气)
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4楼: Originally posted by bsjia at 2010-10-26 20:46:03
我使用的射频电源和射频匹配器都是国产的（北京泰科诺科技JCP-350磁控溅射镀膜机），通过手动调节电源功率,匹配器是自动的，反射功率过高时，通过调节c1,c2来调低反射功率，上次做实验时反射功率过大一段时间没 ...

请问该问题怎么解决的？在线等，谢谢
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9楼2014-07-01 19:37:34
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碳工

新虫 (初入文坛)
★
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3楼: Originally posted by cord at 2010-10-26 00:24:57
请详细描述你的电源以及出现的问题，光凭上面的描述很难推断具体的问题。
电源是国产的还是进口的？匹配器是手动还是自动的？腔室中的电缆以及电源到匹配器，匹配器到腔室中的电缆是否都没有问题？腔室的功率连接口 ...

求问怎么用万用表测的？
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10楼2014-07-06 10:19:59
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