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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于射频磁控溅射自偏压过高的问题求教
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wangyinquan

铁虫 (小有名气)

[求助] 关于射频磁控溅射自偏压过高的问题求教

在射频功率为50w时，自偏压为280v，当功率为150w时，自偏压就到了570v ,请问这样正常吗？如何才能降低自偏压啊？谢谢
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1楼2012-04-18 23:43:32
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looor

木虫 (小有名气)
请问，你是做什么材料的？
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安心工作
2楼2012-11-26 10:40:19
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wangyinquan

铁虫 (小有名气)
做的是HfO2 薄膜
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3楼2012-12-03 16:44:58
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likennet

新虫 (初入文坛)
没事的，你增加功率自偏压必然会升高啊
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4楼2013-03-26 15:20:27
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