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wangyinquan铁虫 (小有名气)
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[求助]
关于射频磁控溅射自偏压过高的问题求教
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| 在射频功率为50w时，自偏压为280v，当功率为150w时，自偏压就到了570v ,请问这样正常吗？如何才能降低自偏压啊？谢谢 |
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