| 查看: 1060 | 回复: 3 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
wangyinquan铁虫 (小有名气)
|
[求助]
关于射频磁控溅射自偏压过高的问题求教
|
|
| 在射频功率为50w时，自偏压为280v，当功率为150w时，自偏压就到了570v ,请问这样正常吗？如何才能降低自偏压啊？谢谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
电气专硕320求调剂
已经有5人回复
-
一志愿西北工业大学289 085602
已经有33人回复
-
一志愿哈工大 085600 277 12材科基求调剂
已经有24人回复
-
268分085602化学工程调剂
已经有28人回复
-
化学工程调剂289
已经有50人回复
-
求调剂，262机械专硕
已经有8人回复
-
305求调剂
已经有6人回复
-
327求调剂
已经有5人回复
-
347求调剂
已经有4人回复
-
272分材料子求调剂
已经有47人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
已经有5人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射出问题了大虾们帮帮忙
已经有6人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题
已经有5人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
likennet
新虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 100.4
- 帖子: 43
- 在线: 23.2小时
- 虫号: 1471859
- 注册: 2011-11-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2013-03-26 15:20:27
looor
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 3112.5
- 散金: 98
- 帖子: 142
- 在线: 82.2小时
- 虫号: 2051086
- 注册: 2012-10-09
- 性别: GG
- 专业: 集成电路制造与封装
2楼2012-11-26 10:40:19
5