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wangyinquan

铁虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 406
红花: 1
帖子: 89
在线: 20.3小时
虫号: 1260714
注册: 2011-04-10
性别: GG
专业: 代数学

[求助] 关于射频磁控溅射自偏压过高的问题求教

在射频功率为50w时，自偏压为280v，当功率为150w时，自偏压就到了570v ,请问这样正常吗？如何才能降低自偏压啊？谢谢

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1楼2012-04-18 23:43:32

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新虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
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虫号: 1471859
注册: 2011-11-02
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

没事的，你增加功率自偏压必然会升高啊

4楼2013-03-26 15:20:27

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looor

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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虫号: 2051086
注册: 2012-10-09
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

请问，你是做什么材料的？

安心工作

2楼2012-11-26 10:40:19

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