| 查看: 2390 | 回复: 6 | ||
superlx铜虫 (小有名气)
|
[求助]
射频磁控不起辉
|
| 我们实验室的射频磁控溅射做氧化物时起辉十分困难，Ar气压都加到5Pa了还是不起辉，初步感觉反射功率太大，请教各位有没有什么好办法可以射频起辉？ |
回复此楼» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有175人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于射频磁控溅射
已经有7人回复
- 射频溅射反射功率居高不下！怎么办？
已经有10人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 关于射频磁控溅射自偏压过高的问题求教
已经有3人回复
- 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
已经有5人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 求助哪可查到各种材料的相对溅射速率值
已经有4人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【求助】偏压，门电压，栅压
已经有3人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
haizi977886
铁虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1884.6
- 散金: 40
- 红花: 1
- 帖子: 73
- 在线: 51.2小时
- 虫号: 1036270
- 注册: 2010-06-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2011-08-05 08:19:44
3楼2011-08-05 10:12:44
金光闪闪2010
至尊木虫 (职业作家)
- MN-EPI: 3
- 应助: 34 (小学生)
- 贵宾: 3.419
- 金币: 14156.9
- 散金: 6102
- 红花: 174
- 沙发: 40
- 帖子: 4639
- 在线: 888.5小时
- 虫号: 1056962
- 注册: 2010-07-13
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2011-08-05 10:15:30
erty
金虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 917.6
- 帖子: 365
- 在线: 82.6小时
- 虫号: 294983
- 注册: 2006-11-11
- 性别: GG
- 专业: 可再生与替代能源利用中的
5楼2011-08-09 17:57:49
6楼2013-05-06 10:42:02
hjhqq8768029
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1266.8
- 帖子: 180
- 在线: 33.7小时
- 虫号: 1429594
- 注册: 2011-10-07
- 专业: 电子学与信息系统
7楼2015-01-11 22:40:00
