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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 射频磁控不起辉
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superlx

铜虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控不起辉

我们实验室的射频磁控溅射做氧化物时起辉十分困难，Ar气压都加到5Pa了还是不起辉，初步感觉反射功率太大，请教各位有没有什么好办法可以射频起辉？
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1楼 2011-07-13 13:43:09
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11lhuang1

新虫 (初入文坛)
我也遇到过这个情况，但是一般5Pa以上一点基本可以起辉，但是分子泵要在4Pa以下工作比较好，这样升压多少对分子泵有不良影响，不过5Pa~10Pa都有是可以试的，10Pa以上不能使用分子泵。基本射频起辉10~5Pa一定会起辉，不能起辉就与仪器的其他问题有关了。
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6楼2013-05-06 10:42:02
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haizi977886

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

superlx(金币+10): 2 2011-08-05 12:44:29
你试试低气压，0.1~1pa范围内怎么样？气压大的话气体分子的有效自由程减小，加速的能量小，自然起辉就困难了。不知道是不是这样的，呵呵，你试试吧
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执着成就梦想
2楼2011-08-05 08:19:44
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dugu

木虫 (小有名气)
5 Pa也不高，可以再高点试试，如果射频源没问题，射频反射不严重，在50Pa下应该可以起辉的。
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书生老去机会方来
3楼2011-08-05 10:12:44
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金光闪闪2010

至尊木虫 (职业作家)

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

要检查一下是不是有问题了
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Ifyouwanttohavehighlevelofcreativity,it'samustyouhavetobedepressed
4楼2011-08-05 10:15:30
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