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superlx铜虫 (小有名气)
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射频磁控不起辉
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| 我们实验室的射频磁控溅射做氧化物时起辉十分困难，Ar气压都加到5Pa了还是不起辉，初步感觉反射功率太大，请教各位有没有什么好办法可以射频起辉？ |
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