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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
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碳工

新虫 (初入文坛)
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不是有匹配箱吗?难道理论与实际就是相差很大吗？还是操作的问题，不是说匹配之后反射功率就是零啦吗？还有请教大神，那个真空腔那具体是增么消耗功率的？
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11楼2014-07-06 10:23:49
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
通过手动调节电源功率,匹配器是自动的，反射功率过高时，通过调节c1,c2来调低反射功率，

这个匹配器到底是自动还是手动啊? 自动的话, 发射功率过高时匹配器会自己来调节, 而不需要手动.
估计不是你的电缆短路了就是你的溅射阴极(靶位短路了), 国产电源是有坏的问题, 但是还是先排除其它问题吧.
用万用表测试同轴电缆线两端看是否断路, 以及测试中心线跟绝缘层直接是否短路, 测试电缆线两端都从设备上拆下来.
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12楼2014-07-06 11:48:44
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小木心的

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by tonylei1990 at 2013-12-09 09:38:07
我的反射功率怎么也很高，但是正常起辉。。。。

一直是这样吗？对溅射有影响吗？

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13楼2018-08-15 09:13:05
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