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万分火急：求助射频溅射镀膜问题
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| 我用的是北京蒙泰的磁控溅射仪，在开分子泵的时候，分子泵转速正在上升的时候突然分子泵自己听了，分子泵的整个控制面板都灭了，再开就开不开了，连指示灯都不亮了，有没有人遇到这样的情况，这是怎么回事啊？？ |
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holypapa
木虫 (职业作家)
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jiajia1106 
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4楼2012-04-19 18:00:50
