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万分火急:求助射频溅射镀膜问题
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| 我用的是北京蒙泰的磁控溅射仪,在开分子泵的时候,分子泵转速正在上升的时候突然分子泵自己听了,分子泵的整个控制面板都灭了,再开就开不开了,连指示灯都不亮了,有没有人遇到这样的情况,这是怎么回事啊?? |
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3楼2011-10-09 21:12:43
holypapa
木虫 (职业作家)
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2楼2011-10-08 17:31:28
jiajia1106 
禁虫 (小有名气)
感谢参与,应助指数 +1
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4楼2012-04-19 18:00:50













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