应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
192/2返回列表上一页12
查看: 4056  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

qwcmos

铜虫 (小有名气)
陶瓷靶材，做靶材bonding吧，这样能缓解一下。
plate材料有Al，Cu，Mo，找个膨胀系数接近的。
别的也没什么办法了。
赞一下 回复此楼
11楼2014-02-19 09:53:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

林文丢丢

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

问一下  我的陶瓷靶材也开裂了 怎样做呢  用无极高温胶将碎了的陶瓷靶材粘结到铜拖上吗
赞一下 回复此楼
12楼2014-03-12 16:34:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

迫不得已

银虫 (小有名气)
我用的是直流磁控溅射铝靶，靶材老是和引弧针粘连是啥原因啊？
赞一下 回复此楼
我就是我，颜色不一样的烟火
13楼2014-03-12 18:59:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

林文丢丢

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

你好 ，请问 那种高温无机胶
赞一下 回复此楼
14楼2014-05-20 11:07:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui2eat

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

恩恩是的，绑定背靶是个很好的方法，不过现在都是在用无氧铜背靶，采用铟焊焊接，这样陶瓷靶利用率更高些，有时候自己用高温胶粘的话粘不很好，所以还是建议做陶瓷靶的时候让商家给绑定好，这样也比较省心，也省事，你可以问问中诺新材哦，哈哈哈，仅作参考
赞一下 回复此楼
15楼2014-07-14 14:16:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liailong

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

您好，问一下你们的那个高温无机胶是哪个牌子的？
赞一下 回复此楼
自强不息，厚德载物！
16楼2014-11-16 16:18:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jove4530

金虫 (小有名气)
不知道你用的什么靶材，一般陶瓷类靶材应该在买的时候就bonding好的
赞一下 回复此楼
每天进步一点点，再坚持一天！
17楼2014-11-21 13:46:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

冠金利胡

新虫 (初入文坛)
基本是大多数是铟作为绑定介质最多，利用率也好，还有就是无机高温胶，这个主要看溅射的熔点，铟绑定不均匀有可能导致溅射过程中铟融化流出影响实验。
赞一下 回复此楼
18楼2015-03-12 14:51:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼
今天我的陶瓷靶材直接裂开一个洞，感觉有融化的物质出现了，靶材就像是被炸开了一样，里面很不均匀
赞一下 回复此楼
新的奋斗天天开始
19楼2019-01-26 00:16:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 looor 的主题更新
192/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 272分求调剂 +4 wangyile2233 2026-04-02 4/200 2026-04-05 22:21 by 286640313
[考研] 找调剂 +10 楚乔乔 2026-04-01 10/500 2026-04-05 22:19 by syh9288
[考研] 085600，320分求调剂 +7 大馋小子 2026-04-01 8/400 2026-04-05 21:19 by 学员8dgXkO
[考研] 271分求调剂学校 +12 zph158488！ 2026-04-02 13/650 2026-04-05 10:13 by lqwchd
[考研] 26考研调剂0710 0860 +9 补补不补 2026-04-03 14/700 2026-04-04 23:32 by 果冻大王
[考研] 323求调剂 +8 李佳乐1 2026-04-04 8/400 2026-04-04 22:26 by hemengdong
[考研] 材料调剂 +10 懒羊羊轻置玉臀 2026-04-02 11/550 2026-04-04 21:56 by laoshidan
[考研] 293分求调剂，外语为俄语 +6 加一一九 2026-03-31 6/300 2026-04-04 14:57 by 聪明的大松鼠
[考研] 土木304求调剂 +4 兔突突突， 2026-03-31 4/200 2026-04-04 13:34 by 1753564080
[考研] 一志愿中国石油大学化学工程323分求调剂 +4 化工专硕323分 2026-04-03 6/300 2026-04-03 22:12 by dongzh2009
[考研] 281求调剂 +10 aaawhy 2026-04-03 10/500 2026-04-03 21:42 by lbsjt
[考研] 学硕机械工程303求调剂 +6 无名所以叫吴明 2026-03-30 7/350 2026-04-03 16:48 by asdfzly
[考研] 274求调剂 +9 顺理成张 2026-04-03 10/500 2026-04-03 15:10 by 啊俊！
[考研] 化学070300-总分378-求调剂 +5 挪椅子的泡泡糖 2026-04-02 5/250 2026-04-02 22:20 by ZXlzxl0425
[考研] 321求调剂 一志愿 浙江工业大学生物医药 +5 嘿嘿HC 2026-04-01 6/300 2026-04-02 15:23 by sophie2180
[考研] 08工科求调剂290分 +5 1314捧花 2026-04-02 8/400 2026-04-02 13:16 by 乔哒哒哒
[考研] 292求调剂 +17 木虫er12138 2026-04-01 17/850 2026-04-01 21:37 by 七度不信任
[考研] 省双一流重点一本大学招收调剂 +4 wwwwffffff 2026-03-31 7/350 2026-04-01 15:23 by wwwwffffff
[硕博家园] 博一被送出联培感觉不适应怎么办 +3 全村的狗 2026-03-31 3/150 2026-04-01 10:44 by 328838485
[考研] 本2一志愿C9-333分，材料科学与工程，求调剂 +9 升升不降 2026-03-31 9/450 2026-03-31 18:01 by 无际的草原
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭