射频磁控溅射陶瓷靶材开裂 - 材料综合 - 材料物理 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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qwcmos

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陶瓷靶材，做靶材bonding吧，这样能缓解一下。
plate材料有Al，Cu，Mo，找个膨胀系数接近的。
别的也没什么办法了。

11楼2014-02-19 09:53:13

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林文丢丢

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2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

问一下我的陶瓷靶材也开裂了怎样做呢用无极高温胶将碎了的陶瓷靶材粘结到铜拖上吗

12楼2014-03-12 16:34:37

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迫不得已

银虫 (小有名气)

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我用的是直流磁控溅射铝靶，靶材老是和引弧针粘连是啥原因啊？

我就是我，颜色不一样的烟火

13楼2014-03-12 18:59:35

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林文丢丢

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2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

你好，请问那种高温无机胶

14楼2014-05-20 11:07:50

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huihui2eat

银虫 (小有名气)

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2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

恩恩是的，绑定背靶是个很好的方法，不过现在都是在用无氧铜背靶，采用铟焊焊接，这样陶瓷靶利用率更高些，有时候自己用高温胶粘的话粘不很好，所以还是建议做陶瓷靶的时候让商家给绑定好，这样也比较省心，也省事，你可以问问中诺新材哦，哈哈哈，仅作参考

15楼2014-07-14 14:16:57

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liailong

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2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

您好，问一下你们的那个高温无机胶是哪个牌子的？

自强不息，厚德载物！

16楼2014-11-16 16:18:08

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Jove4530

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不知道你用的什么靶材，一般陶瓷类靶材应该在买的时候就bonding好的

每天进步一点点，再坚持一天！

17楼2014-11-21 13:46:04

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冠金利胡

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基本是大多数是铟作为绑定介质最多，利用率也好，还有就是无机高温胶，这个主要看溅射的熔点，铟绑定不均匀有可能导致溅射过程中铟融化流出影响实验。

18楼2015-03-12 14:51:03

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鲸鱼先生

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今天我的陶瓷靶材直接裂开一个洞，感觉有融化的物质出现了，靶材就像是被炸开了一样，里面很不均匀

新的奋斗天天开始

19楼2019-01-26 00:16:51

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