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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
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looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！
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安心工作
1楼 2013-03-12 20:41:02
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼
今天我的陶瓷靶材直接裂开一个洞，感觉有融化的物质出现了，靶材就像是被炸开了一样，里面很不均匀
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新的奋斗天天开始
19楼2019-01-26 00:16:51
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匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-13 09:26:07
本帖仅楼主可见
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2楼2013-03-13 10:39:24
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的，你如果买靶材别人一定会给你提供的。
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3楼2013-03-13 14:06:44
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21
如果靶是在下面，样品在上面，那么裂了也无所谓，只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁，以防缝隙太大，把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大，靶温度升高不多的话，铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话，靶在上面的也可以试一下。
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4楼2013-03-13 18:37:18
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