应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
31/1返回列表
查看: 3831  |  回复: 18
查看全部回帖 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
安心工作
1楼 2013-03-12 20:41:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的，你如果买靶材别人一定会给你提供的。
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-13 14:06:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by huihui1991 at 2013-03-22 17:23:16
你们用的哪家的靶材啊，其实绑定背靶的一般都是用无氧铜的，很少用不锈钢吧？...

不锈钢也有用的，还是看热膨胀系数的，有些陶瓷靶材和Cu的热膨胀系数差别比较大的，会用到不锈钢的。另外还有两者混合的一种背板。
不过大部分我们日常用的O free 的Cu 是足够的了。
赞一下 回复此楼
10楼2013-03-26 16:25:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 looor 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭