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looor

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 3112.5
散金: 98
帖子: 142
在线: 82.2小时
虫号: 2051086
注册: 2012-10-09
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！

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安心工作

1楼 2013-03-12 20:41:02

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

林文丢丢

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1882.7
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红花: 12
帖子: 518
在线: 291.4小时
虫号: 2651643
注册: 2013-09-13
性别: MM
专业: 电磁与物理治疗

引用回帖:

2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

问一下我的陶瓷靶材也开裂了怎样做呢用无极高温胶将碎了的陶瓷靶材粘结到铜拖上吗