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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
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looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！
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安心工作
1楼 2013-03-12 20:41:02
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huihui2eat

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

恩恩是的，绑定背靶是个很好的方法，不过现在都是在用无氧铜背靶，采用铟焊焊接，这样陶瓷靶利用率更高些，有时候自己用高温胶粘的话粘不很好，所以还是建议做陶瓷靶的时候让商家给绑定好，这样也比较省心，也省事，你可以问问中诺新材哦，哈哈哈，仅作参考
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15楼2014-07-14 14:16:57
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匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-13 09:26:07
本帖仅楼主可见
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2楼2013-03-13 10:39:24
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的，你如果买靶材别人一定会给你提供的。
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3楼2013-03-13 14:06:44
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21
如果靶是在下面，样品在上面，那么裂了也无所谓，只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁，以防缝隙太大，把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大，靶温度升高不多的话，铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话，靶在上面的也可以试一下。
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4楼2013-03-13 18:37:18
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