24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3470)
>虫友互识 (702)
>论文投稿 (247)
>休闲灌水 (208)
>导师招生 (152)
>基金申请 (143)
>文献求助 (123)
>硕博家园 (79)
>公派出国 (71)
>博后之家 (66)
>考博 (66)
>教师之家 (56)
>考研 (51)
>论文道贺祈福 (41)
>招聘信息布告栏 (35)
>找工作 (33)

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

looor

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 3112.5
散金: 98
帖子: 142
在线: 82.2小时
虫号: 2051086
注册: 2012-10-09
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！

回复此楼

» 猜你喜欢

安心工作

1楼 2013-03-12 20:41:02

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

huihui2eat

银虫 (小有名气)

应助: 15 (小学生)
金币: 709.3
散金: 70
帖子: 184
在线: 66.2小时
虫号: 3318737
注册: 2014-07-11
专业: 等离子体物理

引用回帖:

2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-03-13 10:39:24
我也遇到过类似情况，靶材内应力太大或者烧结后强度不够等均会导致靶材建设过程中容易开裂。我们组的磁控靶的靶材厚度可以在2~5mm之间，我们在买靶材的时候买3mm的靶材，然后再买一些2mm厚的不锈钢靶材（其实是买过 ...

恩恩是的，绑定背靶是个很好的方法，不过现在都是在用无氧铜背靶，采用铟焊焊接，这样陶瓷靶利用率更高些，有时候自己用高温胶粘的话粘不很好，所以还是建议做陶瓷靶的时候让商家给绑定好，这样也比较省心，也省事，你可以问问中诺新材哦，哈哈哈，仅作参考