| 查看: 3728 | 回复: 18 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
looor木虫 (小有名气)
|
[求助]
射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
|
|
现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！ |
回复此楼» 猜你喜欢
2025 海南大学国家高层次人才团队第三批博士生招录！材料 / 化学 / /生命/ 生物
已经有11人回复
-
2025年海南大学南国家高层次人才团队招收博士生（截止7月3日）
已经有0人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有175人回复
-
合肥微晶材料科技有限公司CVD石墨烯薄膜
已经有11人回复
-
谭编的ECbox电化学分析软件，请提供下载链接
已经有0人回复
-
TLC观测一些显色不灵敏化合物
已经有2人回复
-
结晶态硅酸钠中硅含量测定
已经有2人回复
-
硅肥中硅含量测定
已经有0人回复
-
RuFe
已经有0人回复
11楼2014-02-19 09:53:13
匿名
用户注销 (正式写手)
- 应助: 71 (初中生)
- 金币: 1669.8
- 散金: 406
- 红花: 34
- 帖子: 700
- 在线: 137小时
- 虫号: 0
- 注册: 2011-06-02
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
2楼2013-03-13 10:39:24
3楼2013-03-13 14:06:44
wangbo1966
新虫 (小有名气)
- 应助: 25 (小学生)
- 金币: 907.2
- 帖子: 66
- 在线: 24.8小时
- 虫号: 1302153
- 注册: 2011-05-21
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
4楼2013-03-13 18:37:18