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looor木虫 (小有名气)
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射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
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现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！ |
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13楼2014-03-12 18:59:35
匿名
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2楼2013-03-13 10:39:24
3楼2013-03-13 14:06:44
wangbo1966
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4楼2013-03-13 18:37:18