应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
191/2返回列表12下一页
查看: 4005  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
安心工作
1楼 2013-03-12 20:41:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-13 09:26:07
本帖仅楼主可见
赞一下
2楼2013-03-13 10:39:24
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的，你如果买靶材别人一定会给你提供的。
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-13 14:06:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21
如果靶是在下面，样品在上面，那么裂了也无所谓，只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁，以防缝隙太大，把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大，靶温度升高不多的话，铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话，靶在上面的也可以试一下。
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-13 18:37:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2013-03-20 23:54:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

83145321
6楼2013-03-21 15:03:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui1991

铜虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2013-03-22 17:20:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui1991

铜虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2013-03-22 17:23:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

多多余余

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
looor: 金币+1 2013-07-13 09:26:35
首先陶瓷靶材必须绑定，最好选用紫铜背板，有利于冷却水循环散热。另外，这种情况应该还是靶材本身有问题，需要检测原始靶材的晶粒度，还有可以把一整块陶瓷靶材做成几小块拼接起来，减小热应力。
赞一下 回复此楼
9楼2013-03-23 12:10:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by huihui1991 at 2013-03-22 17:23:16
你们用的哪家的靶材啊，其实绑定背靶的一般都是用无氧铜的，很少用不锈钢吧？...

不锈钢也有用的，还是看热膨胀系数的，有些陶瓷靶材和Cu的热膨胀系数差别比较大的，会用到不锈钢的。另外还有两者混合的一种背板。
不过大部分我们日常用的O free 的Cu 是足够的了。
赞一下 回复此楼
10楼2013-03-26 16:25:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 looor 的主题更新
191/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0856材料专硕353求调剂 +4 NIFFFfff 2026-03-20 4/200 2026-03-22 09:49 by 2026paper
[考研] 278求调剂 +9 烟火先于春 2026-03-17 9/450 2026-03-21 17:47 by 学员8dgXkO
[考研] 机械专硕299求调剂至材料 +3 kkcoco25 2026-03-16 4/200 2026-03-21 03:52 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +10 yy要上岸呀 2026-03-17 10/500 2026-03-21 03:14 by JourneyLucky
[考研] 初始318分求调剂（有工作经验） +3 1911236844 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:33 by JourneyLucky
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境专硕，总分308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:39 by JourneyLucky
[考研] 22408 344分 求调剂 一志愿 华电计算机技术 +4 solanXXX 2026-03-20 4/200 2026-03-20 23:49 by alg094825
[考研] 材料专硕英一数二306 +7 z1z2z3879 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:48 by JourneyLucky
[考研] 323求调剂 +3 洼小桶 2026-03-18 3/150 2026-03-20 22:54 by JourneyLucky
[考研] 一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。 +4 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:15 by JourneyLucky
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 5/250 2026-03-20 22:11 by 云游重阳
[考研] 广西大学家禽遗传育种课题组2026年硕士招生（接收计算机专业调剂） +3 123阿标 2026-03-17 3/150 2026-03-20 15:58 by 飞行琦
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂（0854都可以） +4 xbxudjdn 2026-03-18 4/200 2026-03-20 09:07 by 不168
[考研] 一志愿福大288有机化学，求调剂 +3 小木虫200408204 2026-03-18 3/150 2026-03-19 13:31 by houyaoxu
[考研] 本科郑州大学物理学院，一志愿华科070200学硕，346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 293求调剂 +11 zjl的号 2026-03-16 16/800 2026-03-18 08:10 by zhukairuo
[硕博家园] 湖北工业大学 生命科学与健康学院-课题组招收2026级食品/生物方向硕士 +3 1喜春8 2026-03-17 5/250 2026-03-17 17:18 by ber川cool子
[考研] 11408 一志愿西电，277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭