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looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜,用的是射频磁控溅射,铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm,功率60-100W,但是溅射几分钟后,靶就裂了,其熔点是1500+,烧结温度是1400℃,自然降温,密度测得是98%左右,请问是什么原因会导致靶材开裂,现在很急啊,马上就要出数据了,现在一无所获啊!
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安心工作
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huihui1991

铜虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

7楼2013-03-22 17:20:21
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查看全部 19 个回答

匿名

用户注销 (正式写手)

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
looor: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-13 09:26:07
本帖仅楼主可见
2楼2013-03-13 10:39:24
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的,你如果买靶材别人一定会给你提供的。
3楼2013-03-13 14:06:44
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21
如果靶是在下面,样品在上面,那么裂了也无所谓,只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁,以防缝隙太大,把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大,靶温度升高不多的话,铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话,靶在上面的也可以试一下。
4楼2013-03-13 18:37:18
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