版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

looor

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 3112.5
散金: 98
帖子: 142
在线: 82.2小时
虫号: 2051086
注册: 2012-10-09
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

微合金钢的固溶温度的确定公式已经有1人回复
关于30°不全位错的柏氏回路的绘制已经有0人回复
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有87人回复
自荐-求博士或科研助理已经有2人回复
北京科技大学/李亚庚教授招收2026年秋季入学博士生已经有11人回复
省级国家级人才计划申报已经有0人回复
探究TGF-β在癌症免疫调控中的作用机制|肿瘤已经有2人回复
探究TGF-β在癌症免疫调控中的作用机制|肿瘤已经有10人回复
所以当初说在欧美生活&#144308;用讲人情世故的人怎么生活的已经有12人回复
求助Journal of Alloys and Compounds剘刊2014年612卷的封皮、目录、版权页或封底已经有2人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

哪家公司卖的用于磁控溅射镀膜的MgO靶材比较好，希望有经验者推荐一下，已经有12人回复
射频磁控溅射法制备MgO薄膜已经有7人回复
做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了已经有9人回复
国内哪家做磁控溅射靶材做的最好？？已经有37人回复
急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？多谢！已经有16人回复
请教一个关于磁控溅射的问题在靶材上贴片已经有16人回复
磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗已经有4人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈已经有33人回复
磁控溅射腔室内的铝靶变质了急！急！急！已经有6人回复
关于磁控溅射靶材的颗粒已经有10人回复
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题已经有10人回复
陶瓷靶材开裂怎么破？？？？已经有27人回复
直流磁控溅射溅射无法起弧靶材刻蚀严重已经有13人回复
射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？已经有5人回复
磁控溅射靶材bondig 已经有14人回复
【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？已经有9人回复
【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站已经有6人回复

安心工作

1楼 2013-03-12 20:41:02

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

多多余余

木虫 (正式写手)

应助: 20 (小学生)
金币: 4095.3
红花: 6
帖子: 550
在线: 121.5小时
虫号: 1866852
注册: 2012-06-22
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

【答案】应助回帖

★
looor: 金币+1 2013-07-13 09:26:35

首先陶瓷靶材必须绑定，最好选用紫铜背板，有利于冷却水循环散热。另外，这种情况应该还是靶材本身有问题，需要检测原始靶材的晶粒度，还有可以把一整块陶瓷靶材做成几小块拼接起来，减小热应力。

9楼2013-03-23 12:10:30

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 looor 的主题更新