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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 磁控溅射镀膜机样品架制作
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淡若流觞

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜机样品架制作已有1人参与

现在想自己设计一个样品架，不知道该采用什么材料，之前采用的是不锈钢，现在想换紫铜试一下，不知道会有什么影响呢？求助各位大神指点一下。用紫铜后会对真空系统产生什么样的影响？
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1楼2014-05-10 19:05:51
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
淡若流觞: 金币+5, ★有帮助, 很好 2014-05-14 13:47:30
一般的旋转靶样品架多用不锈钢（当然也有用铜和铝合金的），平面靶样品架多用紫铜材料。用紫铜后不会对真空系统产生什么大的影响。
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2楼2014-05-10 22:47:16
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淡若流觞

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-05-10 22:47:16
一般的旋转靶样品架多用不锈钢（当然也有用铜和铝合金的），平面靶样品架多用紫铜材料。用紫铜后不会对真空系统产生什么大的影响。

那紫铜与不锈钢的释气性有什么不同吗
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3楼2014-05-12 11:42:53
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淡若流觞

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-05-10 22:47:16
一般的旋转靶样品架多用不锈钢（当然也有用铜和铝合金的），平面靶样品架多用紫铜材料。用紫铜后不会对真空系统产生什么大的影响。

那紫铜与不锈钢的释气性有什么不同吗
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4楼2014-05-12 11:49:48
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lisx2525

新虫 (初入文坛)
一般真空环境下，使用用无氧铜OFHC 的较多。 你要看你的紫铜杂志含量。 建议你用不锈钢。
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5楼2014-05-28 09:40:11
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