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淡若流觞

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜机样品架制作 已有1人参与

现在想自己设计一个样品架,不知道该采用什么材料,之前采用的是不锈钢,现在想换紫铜试一下,不知道会有什么影响呢?求助各位大神指点一下。用紫铜后会对真空系统产生什么样的影响?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
淡若流觞: 金币+5, 有帮助, 很好 2014-05-14 13:47:30
一般的旋转靶样品架多用不锈钢(当然也有用铜和铝合金的),平面靶样品架多用紫铜材料。用紫铜后不会对真空系统产生什么大的影响。
2楼2014-05-10 22:47:16
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淡若流觞

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-05-10 22:47:16
一般的旋转靶样品架多用不锈钢(当然也有用铜和铝合金的),平面靶样品架多用紫铜材料。用紫铜后不会对真空系统产生什么大的影响。

那紫铜与不锈钢的释气性有什么不同吗
3楼2014-05-12 11:42:53
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淡若流觞

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-05-10 22:47:16
一般的旋转靶样品架多用不锈钢(当然也有用铜和铝合金的),平面靶样品架多用紫铜材料。用紫铜后不会对真空系统产生什么大的影响。

那紫铜与不锈钢的释气性有什么不同吗
4楼2014-05-12 11:49:48
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

一般真空环境下,使用用无氧铜OFHC 的较多。 你要看你的紫铜杂志含量。 建议你用不锈钢。
5楼2014-05-28 09:40:11
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