24小时热门版块排行榜    

查看: 4348  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射靶材bondig 已有10人参与

磁控溅射靶材的绑定一般用铟(In)胶将靶材与Cu板粘住。

如果溅射过程中基板要求加热的话,比如600摄氏度,In胶还能用吗?熔点才156.61℃。是不是要改用银浆bonding呢?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 资源 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你所谓的600度加热时怎么个加热法阿?
水冷决定了最高温度不可能超过沸点阿,所以你是不可能达到那么高的温度的,除非没有冷却阿
5楼2012-05-16 07:51:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

Yang_lihui

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
请问做什么材料啊
3楼2011-09-13 15:39:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
方法很多,以下为我用过的方法
1、机械固定,在不会被溅射到的地方机械方式卡住,夹住等。这个方法的好处在于废靶的回收再得用简单,不用提纯之类的。
2、钎料焊接,你用的这个熔点,可以选用Ag72Cu电真空焊料,共晶,共晶点779度
4楼2011-10-07 12:13:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶材的温度应该不会太高,因为有水冷
你说的那个温度是指靶面的温度
要是建设功率很大的话,的确有可能让In融化掉。
6楼2012-05-17 09:19:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +3 困于星晨 2026-03-17 3/150 2026-03-17 14:08 by ms629
[考博] 26申博 +4 八旬速览 2026-03-16 4/200 2026-03-17 13:00 by 轻松不少随
[硕博家园] 深圳大学硕士招生(2026秋,传感器方向,仅录取第一志愿) +4 xujiaoszu 2026-03-11 9/450 2026-03-17 10:29 by xujiaoszu
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 0703化学调剂,求各位老师收留 +8 秋有木北 2026-03-14 8/400 2026-03-16 15:21 by 哦哦123
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 机械专硕调剂 +3 笨笨兔子 2026-03-12 3/150 2026-03-15 20:02 by 栗子粥?
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 材料工程327求调剂 +3 xiaohe12w 2026-03-11 3/150 2026-03-14 20:20 by ms629
[考研] 328求调剂 +3 5201314Lsy! 2026-03-13 6/300 2026-03-14 15:31 by hyswxzs
[考研] 0703,333分求调剂 一志愿郑州大学-物理化学 +3 李魔女斗篷 2026-03-11 3/150 2026-03-13 22:24 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 材料专硕350 求调剂 +4 王金科 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:02 by ruiyingmiao
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123! 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
[考研] 321求调剂(食品/专硕) +3 xc321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
信息提示
请填处理意见