应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射靶材bondig
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
151/2返回列表12下一页
查看: 4442  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射靶材bondig 已有10人参与

磁控溅射靶材的绑定一般用铟（In）胶将靶材与Cu板粘住。

如果溅射过程中基板要求加热的话，比如600摄氏度，In胶还能用吗？熔点才156.61℃。是不是要改用银浆bonding呢？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 资源 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-09-13 11:47:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
靶材的温度应该不会太高，因为有水冷
你说的那个温度是指靶面的温度
要是建设功率很大的话，的确有可能让In融化掉。
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2012-05-17 09:19:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般的，铜背靶制作费用很贵，不止使用一次，而要求反复使用多次。用铟的好处就是一旦bonding的靶材用废后，稍微加热就可实现靶材和铜背靶的分离；缺点就是对于平面靶，使用时要将其和铜背靶钎焊在一起使用（面焊合良好率大于96%）。铟熔点低，若冷却不好，溅射中离子撞击靶材引起靶材的温升超过铟的熔点就会融化铟，使得靶材和铜背靶分离造成大事故。现在一般通过在背靶中通一定压力的冷却水进行有效的冷却的方法来保证bonding面的温度不超过铟的熔点。用银胶的话，一旦靶材用废后，怎么分离背靶和靶材呢？当然对于旋转靶，现在有不少厂家使用机械式bongding，即使用径向弹簧，靠弹簧的弹性力和由此产生的摩擦力实现靶材和不锈钢圆管背靶之间的bonding。
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2013-08-06 08:58:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

Yang_lihui

新虫 (初入文坛)
用高温导电银浆
回复此楼
2楼2011-09-13 15:39:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Yang_lihui

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
请问做什么材料啊
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-09-13 15:39:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
方法很多，以下为我用过的方法
1、机械固定，在不会被溅射到的地方机械方式卡住，夹住等。这个方法的好处在于废靶的回收再得用简单，不用提纯之类的。
2、钎料焊接，你用的这个熔点，可以选用Ag72Cu电真空焊料，共晶，共晶点779度
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2011-10-07 12:13:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你所谓的600度加热时怎么个加热法阿？
水冷决定了最高温度不可能超过沸点阿，所以你是不可能达到那么高的温度的，除非没有冷却阿
赞一下 回复此楼
5楼2012-05-16 07:51:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

finetx

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们这里的靶材都是用机械固定的，方便更换靶材时拆卸。不然要准备多少磁控管啊  基板加热不是应该有循环水冷却装置么？
赞一下 回复此楼
三人行必有我师
7楼2012-05-17 09:28:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1390442楼: Originally posted by 惊蛰8277 at 2011-09-13 12:47:12
磁控溅射靶材的绑定一般用铟（In）胶将靶材与Cu板粘住。

如果溅射过程中基板要求加热的话，比如600摄氏度，In胶还能用吗？熔点才156.61℃。是不是要改用银浆bonding呢？

显然不能用啊

如果In不多的话，可以不用考虑In流出来
当然，还和你的靶材如何安装有关系。
赞一下 回复此楼
8楼2012-09-21 15:22:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

judge

至尊木虫 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看见过某日本客户有机械的方法固定。
赞一下 回复此楼
10楼2013-08-06 11:15:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 惊蛰8277 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿北京化工085600 310分求调剂 +20 0856材料与化工3 2026-04-04 22/1100 2026-04-07 15:14 by 上岸快快
[考研] 学硕化学工程与技术，一志愿中国海洋大学320+求调剂 +9 披星河 2026-04-02 9/450 2026-04-07 12:53 by 尽舜尧1
[考研] 266求调剂 +23 阳阳哇塞 2026-04-01 23/1150 2026-04-07 09:49 by piklet
[考研] 285求调剂 +15 哦呦呼o 2026-04-04 17/850 2026-04-06 23:02 by chenzhimin
[考研] 338求调剂 +4 我想上岸ii 2026-04-05 4/200 2026-04-06 21:04 by 木子君1218
[考研] 269电子信息求调剂，可转专业 +5 独酌wl 2026-04-06 5/250 2026-04-06 17:23 by 土木硕士招生
[考研] 302分 085601求调剂推荐 +11 zyx上岸！ 2026-04-05 11/550 2026-04-05 22:13 by dongzh2009
[考研] 288求调剂，一志愿华南理工大学071005 +6 ioodiiij 2026-04-04 6/300 2026-04-05 10:09 by guoweigw
[考研] 085602 找调剂 +4 逆时针快乐 2026-04-02 4/200 2026-04-04 19:32 by 蓝云思雨
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358 +6 cs0106 2026-04-03 6/300 2026-04-04 11:20 by w_xuqing
[考研] 22408，264求调剂 +3 ywh729 2026-04-03 4/200 2026-04-04 11:04 by ywh729
[考研] 材料专业383求调剂 +8 郭阳阳阳成 2026-04-03 8/400 2026-04-04 10:29 by Rednal.
[考研] 求生物学专业调剂-332分 +5 云朵遛弯指南 2026-04-04 5/250 2026-04-04 10:05 by rzh123456
[考研] 材料科学与工程考研 +10 拯救皮特托先生 2026-04-02 10/500 2026-04-03 23:57 by userper
[考研] 350一志愿北京航空航天大学08500材料科学与工程求调剂 +5 kjnasfss 2026-04-03 5/250 2026-04-03 22:29 by 无际的草原
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +13 hanamiko 2026-04-01 13/650 2026-04-03 18:30 by ls刘帅
[考研] 085600，320分求调剂 +6 大馋小子 2026-04-02 6/300 2026-04-02 21:54 by dongzh2009
[考研] 土木304求调剂 +4 兔突突突， 2026-04-02 5/250 2026-04-02 21:16 by 兔突突突，
[考研] 348环境工程调剂 +3 吴彦祖24k 2026-04-01 3/150 2026-04-02 09:14 by nanaliuyun
[考研] 一志愿北交大材料工程，总分358 +4 cs0106 2026-04-01 4/200 2026-04-02 07:42 by 尚水阁主
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭