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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
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mackfzg

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个与分子自由程有关，小于分子自由程一般就可以。分子自由程和真空气压有关系，一般工艺气压在1×10-3mbar，靶材8mm到10mm。
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光伏，光伏电站，储能电池，储能电站
21楼2012-04-09 21:40:35
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