应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
212/3返回列表上一页123下一页
查看: 4801  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

yangqishi08

金虫 (小有名气)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
我新人，刚接触磁控溅射，受益！
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2010-02-02 13:42:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rfxu

金虫 (著名写手)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
继续顶起来！
回复此楼
12楼2010-02-03 20:47:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yinzhiminghao

铁杆木虫 (职业作家)
学习一下
回复此楼
人生得意须尽欢，莫使金樽空对月。
13楼2010-02-04 00:35:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangfengfan888

银虫 (小有名气)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
他有一个最佳的距离，好像是2R,可以看杨邦朝的《薄膜物理/技术》
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2010-02-19 09:29:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shenyang_c

金虫 (小有名气)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
刚接触磁控溅射，帮顶起来！受益了！
赞一下(1人) 回复此楼
15楼2010-04-20 15:49:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

66451093

银虫 (小有名气)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
sailor529(金币+1): 2010-04-22 09:10
首先影响的建设速率，远了溅射速率慢，靶材成分的原子的平均自由程在一定的温度下是一定的，靶材和基底离太远，靶材分子容易和其他分子碰撞到达不了沉底，而且即使到达基底以后，由于能量较小了，在基底表面的扩散能力很低，所以导致成膜质量和不好，再就是由于各个方向溅射的分子速率不一样，对薄膜的厚度也造成影响。
赞一下(1人) 回复此楼
16楼2010-04-21 15:17:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sailor529

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
17楼2010-04-21 21:31:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

66451093

银虫 (小有名气)
sailor529(金币+1): 2010-04-22 09:10
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-04-21 21:31:25:


太远也不至于吧，仪器制备时肯定考虑了这个原因，在仪器可调的范围内，有些样品距离远时反而成膜质量好。。。。

制备任何薄膜时都肯定有个最佳距离，但是这个最佳距离的把握现在即使是同一种膜由于氛围的不一样也不好把握，即使是文献里面报道过的薄膜可重复操作性也不一定怎么样，但是从理论来解释的话就只能这么解释了。
赞一下 回复此楼
18楼2010-04-21 22:50:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FePt

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
推荐《薄膜物理》

以我多年经验建议，多做实验，多摸索，这个东西要靠经验的
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-01-29 13:26:14:
请教：靶材与衬底的距离对镀膜有什么影响，如何表现，又是如何影响的呢？或推荐些可以学习的资料，谢谢

赞一下(1人) 回复此楼
19楼2010-04-22 10:24:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tickychao206

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个不同溅射仪的最佳靶基距不同，既根据高斯分布原理，也与经验参数有关。我们做实验选取的靶基距，由溅射仪操作人员推荐，以获得高质量与高溅射速率。个人愚见！
赞一下(1人) 回复此楼
正心修身！
20楼2010-04-30 09:35:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 sailor529 的主题更新
212/3返回列表上一页123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 师弟论文见刊大半年才想起来申请专利，还能抢救一下吗？ +5 13108017953 2026-09-21 5/250 2026-09-27 16:46 by Leogzhya
[硕博家园] 上海工程技术大学 激光智能制造课题组 2027级博士研究生招生 +5 oxidpl 2026-09-20 7/350 2026-09-27 10:43 by Equinoxhua
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:42 by 4IW0sJvtEqX8
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:21 by 4IW0sJvtEqX8
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:15 by 4IW0sJvtEqX8
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:03 by 4IW0sJvtEqX8
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 GxESXJmptOtQ 2026-09-25 4/200 2026-09-27 06:42 by XgCC8uTcwILl
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 GxESXJmptOtQ 2026-09-25 4/200 2026-09-27 06:39 by XgCC8uTcwILl
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 GxESXJmptOtQ 2026-09-25 3/150 2026-09-27 06:32 by XgCC8uTcwILl
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 3/150 2026-09-27 06:05 by XgCC8uTcwILl
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 3/150 2026-09-27 05:56 by XgCC8uTcwILl
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 4/200 2026-09-27 05:56 by XgCC8uTcwILl
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 5/250 2026-09-27 05:53 by XgCC8uTcwILl
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 5/250 2026-09-27 05:44 by XgCC8uTcwILl
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 4/200 2026-09-27 05:44 by XgCC8uTcwILl
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 3/150 2026-09-27 05:44 by XgCC8uTcwILl
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 6/300 2026-09-27 05:42 by XgCC8uTcwILl
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 PGTSwSC3F6nQ 2026-09-24 5/250 2026-09-25 11:19 by yhq9807
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 PGTSwSC3F6nQ 2026-09-24 7/350 2026-09-25 11:18 by yhq9807
[教师之家] 课题组招2027级博士 上海工程技术大学 激光智能制造方向 +4 oxidpl 2026-09-20 6/300 2026-09-24 20:37 by oxidpl
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭