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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
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sailor529

禁虫 (小有名气)
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1楼2010-01-29 13:26:14
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66451093

银虫 (小有名气)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
sailor529(金币+1): 2010-04-22 09:10
首先影响的建设速率，远了溅射速率慢，靶材成分的原子的平均自由程在一定的温度下是一定的，靶材和基底离太远，靶材分子容易和其他分子碰撞到达不了沉底，而且即使到达基底以后，由于能量较小了，在基底表面的扩散能力很低，所以导致成膜质量和不好，再就是由于各个方向溅射的分子速率不一样，对薄膜的厚度也造成影响。
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16楼2010-04-21 15:17:19
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查看全部 21 个回答

tmxkzk

木虫 (正式写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
我觉得距离越小，镀膜厚度应该越大，但是可能太近了影响镀膜的质量。
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3楼2010-01-29 21:19:16
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元小雪

木虫 (职业作家)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
可以去看看田民波的那本厚的《薄膜材料》
赞一下(1人) 回复此楼
无聊的博士
4楼2010-01-29 21:54:17
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+2): 2010-02-02 18:15
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-01-29 13:26:14:
请教：靶材与衬底的距离对镀膜有什么影响，如何表现，又是如何影响的呢？或推荐些可以学习的资料，谢谢

太近了 薄膜的粗糙度很大 薄膜质量下降
另外 可能造成自溅射情况
赞一下(2人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2010-01-29 21:59:00
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