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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
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sailor529

禁虫 (小有名气)
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1楼 2010-01-29 13:26:14
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66451093

银虫 (小有名气)
sailor529(金币+1): 2010-04-22 09:10
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-04-21 21:31:25:


太远也不至于吧，仪器制备时肯定考虑了这个原因，在仪器可调的范围内，有些样品距离远时反而成膜质量好。。。。

制备任何薄膜时都肯定有个最佳距离，但是这个最佳距离的把握现在即使是同一种膜由于氛围的不一样也不好把握，即使是文献里面报道过的薄膜可重复操作性也不一定怎么样，但是从理论来解释的话就只能这么解释了。
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18楼2010-04-21 22:50:43
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查看全部 21 个回答

tmxkzk

木虫 (正式写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
我觉得距离越小，镀膜厚度应该越大，但是可能太近了影响镀膜的质量。
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3楼2010-01-29 21:19:16
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元小雪

木虫 (职业作家)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
可以去看看田民波的那本厚的《薄膜材料》
赞一下(1人) 回复此楼
无聊的博士
4楼2010-01-29 21:54:17
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+2): 2010-02-02 18:15
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-01-29 13:26:14:
请教：靶材与衬底的距离对镀膜有什么影响，如何表现，又是如何影响的呢？或推荐些可以学习的资料，谢谢

太近了 薄膜的粗糙度很大 薄膜质量下降
另外 可能造成自溅射情况
赞一下(2人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2010-01-29 21:59:00
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