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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
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sailor529

禁虫 (小有名气)
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1楼2010-01-29 13:26:14
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深海一尾鱼

金虫 (小有名气)

将军
溅射镀膜技术由于溅射原子能量高薄膜附着力大成膜致密性好等优点"被广泛用于各种材料薄膜的制备辉光放电靶材溅射溅射原子输运及薄膜生长等过程是溅射镀膜中关键的物理过程"它们相互影响"共同决定薄膜的性能靶材溅射及溅射原子输运到衬底时的能量入射角及入射位置直接影响着薄膜的生长过程"对薄膜的均匀性$致密性及附着力等性能有着重要影响
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潇洒走一生
10楼2010-01-30 18:19:04
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tmxkzk

木虫 (正式写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
我觉得距离越小，镀膜厚度应该越大，但是可能太近了影响镀膜的质量。
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3楼2010-01-29 21:19:16
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元小雪

木虫 (职业作家)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
可以去看看田民波的那本厚的《薄膜材料》
赞一下(1人) 回复此楼
无聊的博士
4楼2010-01-29 21:54:17
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+2): 2010-02-02 18:15
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-01-29 13:26:14:
请教：靶材与衬底的距离对镀膜有什么影响，如何表现，又是如何影响的呢？或推荐些可以学习的资料，谢谢

太近了 薄膜的粗糙度很大 薄膜质量下降
另外 可能造成自溅射情况
赞一下(2人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2010-01-29 21:59:00
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