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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大 已有1人参与

虫友们好,小弟最近在研究磁控溅射ZnO薄膜,得到的ZnO薄膜用万用表粗测的值达到1万欧,一般不都是几十到几百欧吗,甚是不解,想请问各位什么原因?谢谢

这是实验参数:射频100W,玻璃衬底200度,气压0.5pa,Ar35sccm,30min
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黑暗中的光
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-05 10:59:22
玻璃没有镀上zno

有膜的,明显看出玻璃表面颜色变深,测了XRD也显示有ZnO的峰
黑暗中的光
4楼2013-12-05 14:06:30
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查看全部 20 个回答

maya5428

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
孤傲的王子: 金币+2 2013-12-05 14:36:20
应该有膜 而且 100W 处理30分的话 薄膜厚度 大约800纳米左右

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2013-12-05 13:29:18
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
孤傲的王子: 金币+2, 看了下,氧空位存在时有助于提升导电性。你说通通H2会不会好点? 2013-12-05 14:37:52
双靶反应磁控共溅射制备AL 掺杂ZNO 薄膜及其光电性能
http://www.doc88.com/p-315622005479.html
5楼2013-12-05 14:32:39
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swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
没有80nm那么厚,你测的什么,白光仪还是椭偏仪。
想降低电阻的话把,ZnO把用Zn代替试试,氧分压一般和电阻成正比的。
厚度也有影响。
喵了个咪的~
6楼2013-12-05 14:48:25
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