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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大已有1人参与

虫友们好，小弟最近在研究磁控溅射ZnO薄膜，得到的ZnO薄膜用万用表粗测的值达到1万欧，一般不都是几十到几百欧吗，甚是不解，想请问各位什么原因？谢谢

这是实验参数：射频100W，玻璃衬底200度，气压0.5pa，Ar35sccm，30min
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黑暗中的光
1楼2013-12-04 22:20:25
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floljf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
孤傲的王子(chemlh代发): 金币+1, 欢迎积极交流 2013-12-06 06:58:40
你用的是什么靶？ZnO靶？还是有其他掺杂的？
没有掺杂的ZnO薄膜电阻比较高，几十Kohm正常啊；如果是类似AZO的掺杂薄膜，800nm的话，电阻在几十ohm，20～50左右吧，对应的电阻率在0.05～0.1mohm*c m

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2013-12-05 17:03:43
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floljf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 22:15:27
我的AZO靶的Al含量很低，靶标签上写的是4N，也就是ZnO含量为99.99%，Al的含量可以忽略的啊...

你的这话总说法，真是。。。。

靶材的纯度是4N，没错！但不是说ZnO的含量是4N，而是你靶材的成分究竟是什么？你前面也说了，AZO靶，2wt.%，指的是ZnO(98wt%)+Al2O3(2wt%)这种成分的含量是99.99%。
如果是这种靶材，你做出来的薄膜电阻再几十Kohm，如果你没有在气体中引入氧气，就是设备的漏率太大了，你本底真空是多少？你关机十二小时候的设备压力是多少？
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17楼2013-12-06 12:36:06
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