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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射的薄膜XRD测试没有结晶，退火处理是否可以使其晶化？
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射的薄膜XRD测试没有结晶，退火处理是否可以使其晶化？ 已有8人参与

用磁控溅射制备的金属硼化物薄膜，有700个nm厚，做XRD测试没有出峰，哪些参数不对啊？ 设备暂时不能对基底加热，个人估计沉积温度对其晶化有很大影响，现在考虑退火处理，是否可以使其晶化？有谁做过这方面的指导下啊！
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
1楼 2012-03-31 20:20:13
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jackycj

铁杆木虫 (知名作家)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-01 09:56:09
退火应该可以得到纳米晶，甚至微晶。
我对化学镀非晶态NiFe合金成功进行过晶态转变。
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世事岂能尽如人意，但求无愧吾心
2楼2012-03-31 21:24:54
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jackycj at 2012-03-31 21:24:54:
退火应该可以得到纳米晶，甚至微晶。
我对化学镀非晶态NiFe合金成功进行过晶态转变。

你的退火工艺是什么

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
3楼2012-03-31 23:29:54
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huaxuejidi

至尊木虫 (正式写手)

科研爱爱爱
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
必然有帮助的，温度提高到晶化温度
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朝闻道夕死可矣
4楼2012-04-01 08:53:36
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archer5

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励小新虫交流 希望继续支持功能材料 2012-04-01 21:38:43
大多数材料溅射制膜时衬底低温的话都比较难以结晶的吧
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5楼2012-04-01 09:35:25
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jackycj

铁杆木虫 (知名作家)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很充分 鼓励积极回贴 希望继续支持此版 2012-04-01 21:39:03
引用回帖:
3楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-03-31 23:29:54:
你的退火工艺是什么

讲样品加热到晶华温度以上，保温1－3小时，晶粒形成并不断涨大。
然后自然冷却即可。
相关文献很多的，看你自己的材料非晶向微晶转化的具体条件了。
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世事岂能尽如人意，但求无愧吾心
6楼2012-04-01 10:46:18
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cy079024425

铜虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 希望继续在此版交流 2012-04-01 21:39:22
基片温度低，薄膜镀上后，只是非晶态的，当然没峰。退火工艺就是使其晶化，至于什么温度，什么气氛，因材料体系而已，查阅文献，看别人多少度处理的。希望对你有帮助！
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7楼2012-04-01 12:01:53
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by cy079024425 at 2012-04-01 12:01:53:
基片温度低，薄膜镀上后，只是非晶态的，当然没峰。退火工艺就是使其晶化，至于什么温度，什么气氛，因材料体系而已，查阅文献，看别人多少度处理的。希望对你有帮助！

恩 谢谢
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
8楼2012-04-01 13:42:04
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
qiqiqiqi: , 鼓励积极发贴交流 欢迎到功能材料版 2012-04-01 17:05:38
楼主用DC还是RF溅射？
要是RF溅射，需要注意是否沉积出薄膜，是不是反溅功率很大，没沉积上去啊
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9楼2012-04-01 14:35:19
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cthhxx

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-04-01 17:05:46
或者对基底加热，或者后续退火晶化才能出现溅射材料的峰，通常室温基底溅射得到的膜都是非晶。
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独学而无友则孤陋而寡闻
10楼2012-04-01 17:03:20
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