24小时热门版块排行榜    

查看: 3001  |  回复: 12

Smallpeng

木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射的薄膜XRD测试没有结晶,退火处理是否可以使其晶化? 已有8人参与

用磁控溅射制备的金属硼化物薄膜,有700个nm厚,做XRD测试没有出峰,哪些参数不对啊? 设备暂时不能对基底加热,个人估计沉积温度对其晶化有很大影响,现在考虑退火处理,是否可以使其晶化?有谁做过这方面的指导下啊!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

申请留学

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jackycj

铁杆木虫 (知名作家)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-01 09:56:09
退火应该可以得到纳米晶,甚至微晶。
我对化学镀非晶态NiFe合金成功进行过晶态转变。
世事岂能尽如人意,但求无愧吾心
2楼2012-03-31 21:24:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jackycj at 2012-03-31 21:24:54:
退火应该可以得到纳米晶,甚至微晶。
我对化学镀非晶态NiFe合金成功进行过晶态转变。

你的退火工艺是什么

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
3楼2012-03-31 23:29:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huaxuejidi

铁杆木虫 (正式写手)

科研爱爱爱


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
必然有帮助的,温度提高到晶化温度
朝闻道夕死可矣
4楼2012-04-01 08:53:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

archer5

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励小新虫交流 希望继续支持功能材料 2012-04-01 21:38:43
大多数材料溅射制膜时衬底低温的话都比较难以结晶的吧
5楼2012-04-01 09:35:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jackycj

铁杆木虫 (知名作家)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很充分 鼓励积极回贴 希望继续支持此版 2012-04-01 21:39:03
引用回帖:
3楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-03-31 23:29:54:
你的退火工艺是什么

讲样品加热到晶华温度以上,保温1-3小时,晶粒形成并不断涨大。
然后自然冷却即可。
相关文献很多的,看你自己的材料非晶向微晶转化的具体条件了。
世事岂能尽如人意,但求无愧吾心
6楼2012-04-01 10:46:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cy079024425

铜虫 (小有名气)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 希望继续在此版交流 2012-04-01 21:39:22
基片温度低,薄膜镀上后,只是非晶态的,当然没峰。退火工艺就是使其晶化,至于什么温度,什么气氛,因材料体系而已,查阅文献,看别人多少度处理的。希望对你有帮助!
7楼2012-04-01 12:01:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by cy079024425 at 2012-04-01 12:01:53:
基片温度低,薄膜镀上后,只是非晶态的,当然没峰。退火工艺就是使其晶化,至于什么温度,什么气氛,因材料体系而已,查阅文献,看别人多少度处理的。希望对你有帮助!

恩 谢谢
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
8楼2012-04-01 13:42:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

qiqiqiqi: , 鼓励积极发贴交流 欢迎到功能材料版 2012-04-01 17:05:38
楼主用DC还是RF溅射?
要是RF溅射,需要注意是否沉积出薄膜,是不是反溅功率很大,没沉积上去啊
9楼2012-04-01 14:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cthhxx

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-04-01 17:05:46
或者对基底加热,或者后续退火晶化才能出现溅射材料的峰,通常室温基底溅射得到的膜都是非晶。
独学而无友则孤陋而寡闻
10楼2012-04-01 17:03:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Smallpeng 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +9 不知道叫什么! 2026-03-15 10/500 2026-03-16 10:04 by houyaoxu
[考研] 283求调剂 +8 小楼。 2026-03-12 11/550 2026-03-16 09:46 by 无际的草原
[考研] 304求调剂 +4 素年祭语 2026-03-15 4/200 2026-03-16 09:42 by 闲人终南山
[考研] 中科大材料与化工319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:10 by ms629
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 0856材料与化工309分求调剂 +6 ZyZy…… 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:38 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 337一志愿华南理工0805材料求调剂 +7 mysdl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 22:43 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中科院,化学方向,295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 求调剂(材料与化工327) +4 爱吃香菜啦 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:11 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂 +4 祝我们好在冬天 2026-03-11 4/200 2026-03-13 21:39 by peike
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 26考研求调剂 +5 丶宏Sir 2026-03-13 5/250 2026-03-13 13:05 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂(085602一志愿985) +12 化工人999 2026-03-09 12/600 2026-03-13 12:02 by JourneyLucky
[考研] 0856化工原理 +6 z2839474511 2026-03-10 6/300 2026-03-13 10:41 by houyaoxu
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
[考研] 大连大学化学专业研究生调剂 +3 琪久. 2026-03-10 8/400 2026-03-11 10:02 by 琪久.
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
信息提示
请填处理意见