磁控溅射的薄膜XRD测试没有结晶，退火处理是否可以使其晶化？ - 功能材料 - 功能薄膜

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木虫 (正式写手)

引用回帖:

10楼: Originally posted by cthhxx at 2012-04-01 17:03:20:
或者对基底加热，或者后续退火晶化才能出现溅射材料的峰，通常室温基底溅射得到的膜都是非晶。

基体加热不可能实现了，只好退火了，就怕加热对膜有影响

勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的

11楼2012-04-01 18:57:31

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12楼2012-04-16 20:19:40

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木虫 (著名写手)

会啊退火会使晶型生长完美晶格恢复！

Nevergiveup,nevergivein

13楼2012-04-21 23:57:41

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