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Smallpeng

木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射的薄膜XRD测试没有结晶,退火处理是否可以使其晶化? 已有8人参与

用磁控溅射制备的金属硼化物薄膜,有700个nm厚,做XRD测试没有出峰,哪些参数不对啊? 设备暂时不能对基底加热,个人估计沉积温度对其晶化有很大影响,现在考虑退火处理,是否可以使其晶化?有谁做过这方面的指导下啊!
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勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
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jackycj

铁杆木虫 (知名作家)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-01 09:56:09
退火应该可以得到纳米晶,甚至微晶。
我对化学镀非晶态NiFe合金成功进行过晶态转变。
世事岂能尽如人意,但求无愧吾心
2楼2012-03-31 21:24:54
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jackycj at 2012-03-31 21:24:54:
退火应该可以得到纳米晶,甚至微晶。
我对化学镀非晶态NiFe合金成功进行过晶态转变。

你的退火工艺是什么

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
3楼2012-03-31 23:29:54
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huaxuejidi

铁杆木虫 (正式写手)

科研爱爱爱


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
必然有帮助的,温度提高到晶化温度
朝闻道夕死可矣
4楼2012-04-01 08:53:36
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archer5

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励小新虫交流 希望继续支持功能材料 2012-04-01 21:38:43
大多数材料溅射制膜时衬底低温的话都比较难以结晶的吧
5楼2012-04-01 09:35:25
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jackycj

铁杆木虫 (知名作家)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很充分 鼓励积极回贴 希望继续支持此版 2012-04-01 21:39:03
引用回帖:
3楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-03-31 23:29:54:
你的退火工艺是什么

讲样品加热到晶华温度以上,保温1-3小时,晶粒形成并不断涨大。
然后自然冷却即可。
相关文献很多的,看你自己的材料非晶向微晶转化的具体条件了。
世事岂能尽如人意,但求无愧吾心
6楼2012-04-01 10:46:18
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cy079024425

铜虫 (小有名气)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 希望继续在此版交流 2012-04-01 21:39:22
基片温度低,薄膜镀上后,只是非晶态的,当然没峰。退火工艺就是使其晶化,至于什么温度,什么气氛,因材料体系而已,查阅文献,看别人多少度处理的。希望对你有帮助!
7楼2012-04-01 12:01:53
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by cy079024425 at 2012-04-01 12:01:53:
基片温度低,薄膜镀上后,只是非晶态的,当然没峰。退火工艺就是使其晶化,至于什么温度,什么气氛,因材料体系而已,查阅文献,看别人多少度处理的。希望对你有帮助!

恩 谢谢
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
8楼2012-04-01 13:42:04
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

qiqiqiqi: , 鼓励积极发贴交流 欢迎到功能材料版 2012-04-01 17:05:38
楼主用DC还是RF溅射?
要是RF溅射,需要注意是否沉积出薄膜,是不是反溅功率很大,没沉积上去啊
9楼2012-04-01 14:35:19
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cthhxx

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-04-01 17:05:46
或者对基底加热,或者后续退火晶化才能出现溅射材料的峰,通常室温基底溅射得到的膜都是非晶。
独学而无友则孤陋而寡闻
10楼2012-04-01 17:03:20
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