【答案】应助回帖

dream

11楼2013-12-05 17:23:01

孤傲的王子

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10楼: Originally posted by floljf at 2013-12-05 17:03:43
你用的是什么靶？ZnO靶？还是有其他掺杂的？
没有掺杂的ZnO薄膜电阻比较高，几十Kohm正常啊；如果是类似AZO的掺杂薄膜，800nm的话，电阻在几十ohm，20～50左右吧，对应的电阻率在0.05～0.1mohm*c m
...

用的AZO靶，2wt.%的

黑暗中的光

12楼2013-12-05 19:30:30

孤傲的王子

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11楼: Originally posted by mingxu at 2013-12-05 17:23:01
你是测试它的电阻吗，我也在玩sputering,

虫友用溅射镀啥薄膜呢？

黑暗中的光

13楼2013-12-05 19:32:35

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8楼: Originally posted by swxby at 2013-12-05 15:35:20
在小电压，未击穿情况下，几兆欧到G欧是正常的阻值范围。
没有掺杂，怎么会有那么低的电阻。
电子根据不同导电机理（PF，SCLC，隧穿，电子热发射等），在薄膜中在晶界或者缺陷等中传输，ZnO怎么说也属于绝缘体。 ...

靶我也测过，也只有几千欧啊，为啥镀出的膜电阻那么大

黑暗中的光

14楼2013-12-05 19:35:13

swxby

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
孤傲的王子: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-12-06 13:40:06
孤傲的王子: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-12-09 16:34:18

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14楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 19:35:13
靶我也测过，也只有几千欧啊，为啥镀出的膜电阻那么大...

我看了你其它回复，你问的太误导了。
ZnO靶和AZO电阻完全不是一个数量级的，你用AZO靶怎么能说长得的是ZnO呢？
ZnO是绝缘的，AZO是做电极的。
从结晶情况到氧空位含量都会对电阻有影响，你做个正交优化一下，这样才是靠谱的方法。

喵了个咪的~

15楼2013-12-05 20:02:33

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15楼: Originally posted by swxby at 2013-12-05 20:02:33
我看了你其它回复，你问的太误导了。
ZnO靶和AZO电阻完全不是一个数量级的，你用AZO靶怎么能说长得的是ZnO呢？
ZnO是绝缘的，AZO是做电极的。
从结晶情况到氧空位含量都会对电阻有影响，你做个正交优化一下，这 ...

我的AZO靶的Al含量很低，靶标签上写的是4N，也就是ZnO含量为99.99%，Al的含量可以忽略的啊

黑暗中的光

16楼2013-12-05 22:15:27

floljf

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16楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 22:15:27
我的AZO靶的Al含量很低，靶标签上写的是4N，也就是ZnO含量为99.99%，Al的含量可以忽略的啊...

你的这话总说法，真是。。。。

靶材的纯度是4N，没错！但不是说ZnO的含量是4N，而是你靶材的成分究竟是什么？你前面也说了，AZO靶，2wt.%，指的是ZnO(98wt%)+Al2O3(2wt%)这种成分的含量是99.99%。
如果是这种靶材，你做出来的薄膜电阻再几十Kohm，如果你没有在气体中引入氧气，就是设备的漏率太大了，你本底真空是多少？你关机十二小时候的设备压力是多少？

17楼2013-12-06 12:36:06

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17楼: Originally posted by floljf at 2013-12-06 12:36:06
你的这话总说法，真是。。。。

靶材的纯度是4N，没错！但不是说ZnO的含量是4N，而是你靶材的成分究竟是什么？你前面也说了，AZO靶，2wt.%，指的是ZnO(98wt%)+Al2O3(2wt%)这种成分的含量是99.99%。
如果是这种靶 ...

没有引入氧气啊，本底是1.6E-4,你说的漏率是啥？溅射完后，在分子泵工作下抽了一夜才开腔取样的呀

黑暗中的光

18楼2013-12-06 13:39:45