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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是测试它的电阻吗，我也在玩sputering,
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dream
11楼2013-12-05 17:23:01
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by floljf at 2013-12-05 17:03:43
你用的是什么靶？ZnO靶？还是有其他掺杂的？
没有掺杂的ZnO薄膜电阻比较高，几十Kohm正常啊；如果是类似AZO的掺杂薄膜，800nm的话，电阻在几十ohm，20～50左右吧，对应的电阻率在0.05～0.1mohm*c m
...

用的AZO靶，2wt.%的
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黑暗中的光
12楼2013-12-05 19:30:30
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by mingxu at 2013-12-05 17:23:01
你是测试它的电阻吗，我也在玩sputering,

虫友用溅射镀啥薄膜呢？
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黑暗中的光
13楼2013-12-05 19:32:35
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by swxby at 2013-12-05 15:35:20
在小电压，未击穿情况下，几兆欧到G欧是正常的阻值范围。
没有掺杂，怎么会有那么低的电阻。
电子根据不同导电机理（PF，SCLC，隧穿，电子热发射等），在薄膜中在晶界或者缺陷等中传输，ZnO怎么说也属于绝缘体。 ...

靶我也测过，也只有几千欧啊，为啥镀出的膜电阻那么大
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黑暗中的光
14楼2013-12-05 19:35:13
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swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
孤傲的王子: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-12-06 13:40:06
孤傲的王子: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-12-09 16:34:18
引用回帖:
14楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 19:35:13
靶我也测过，也只有几千欧啊，为啥镀出的膜电阻那么大...

我看了你其它回复，你问的太误导了。
ZnO靶和AZO电阻完全不是一个数量级的，你用AZO靶怎么能说长得的是ZnO呢？
ZnO是绝缘的，AZO是做电极的。
从结晶情况到氧空位含量都会对电阻有影响，你做个正交优化一下，这样才是靠谱的方法。
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喵了个咪的~
15楼2013-12-05 20:02:33
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by swxby at 2013-12-05 20:02:33
我看了你其它回复，你问的太误导了。
ZnO靶和AZO电阻完全不是一个数量级的，你用AZO靶怎么能说长得的是ZnO呢？
ZnO是绝缘的，AZO是做电极的。
从结晶情况到氧空位含量都会对电阻有影响，你做个正交优化一下，这 ...

我的AZO靶的Al含量很低，靶标签上写的是4N，也就是ZnO含量为99.99%，Al的含量可以忽略的啊
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黑暗中的光
16楼2013-12-05 22:15:27
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floljf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 22:15:27
我的AZO靶的Al含量很低，靶标签上写的是4N，也就是ZnO含量为99.99%，Al的含量可以忽略的啊...

你的这话总说法，真是。。。。

靶材的纯度是4N，没错！但不是说ZnO的含量是4N，而是你靶材的成分究竟是什么？你前面也说了，AZO靶，2wt.%，指的是ZnO(98wt%)+Al2O3(2wt%)这种成分的含量是99.99%。
如果是这种靶材，你做出来的薄膜电阻再几十Kohm，如果你没有在气体中引入氧气，就是设备的漏率太大了，你本底真空是多少？你关机十二小时候的设备压力是多少？
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17楼2013-12-06 12:36:06
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by floljf at 2013-12-06 12:36:06
你的这话总说法，真是。。。。

靶材的纯度是4N，没错！但不是说ZnO的含量是4N，而是你靶材的成分究竟是什么？你前面也说了，AZO靶，2wt.%，指的是ZnO(98wt%)+Al2O3(2wt%)这种成分的含量是99.99%。
如果是这种靶 ...

没有引入氧气啊，本底是1.6E-4,你说的漏率是啥？溅射完后，在分子泵工作下抽了一夜才开腔取样的呀
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黑暗中的光
18楼2013-12-06 13:39:45
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

zno半导体不导电的，掺AL进去可以导电
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19楼2013-12-09 16:33:10
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wangxj87

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

个人建议你做个XPS，看一下Zn/O比，因为溅射时两种原子的溅射产额可能会有很大差别。
我做过SiC薄膜，就是因为C的含量太低，不是富碳，退火后薄膜的电阻居高不下。
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20楼2013-12-18 09:15:21
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