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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大已有1人参与

虫友们好，小弟最近在研究磁控溅射ZnO薄膜，得到的ZnO薄膜用万用表粗测的值达到1万欧，一般不都是几十到几百欧吗，甚是不解，想请问各位什么原因？谢谢

这是实验参数：射频100W，玻璃衬底200度，气压0.5pa，Ar35sccm，30min

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黑暗中的光

1楼2013-12-04 22:20:25

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引用回帖:

17楼: Originally posted by floljf at 2013-12-06 12:36:06
你的这话总说法，真是。。。。

靶材的纯度是4N，没错！但不是说ZnO的含量是4N，而是你靶材的成分究竟是什么？你前面也说了，AZO靶，2wt.%，指的是ZnO(98wt%)+Al2O3(2wt%)这种成分的含量是99.99%。
如果是这种靶 ...

没有引入氧气啊，本底是1.6E-4,你说的漏率是啥？溅射完后，在分子泵工作下抽了一夜才开腔取样的呀