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孤傲的王子金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射ZnO薄膜电阻太大 已有1人参与
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虫友们好，小弟最近在研究磁控溅射ZnO薄膜，得到的ZnO薄膜用万用表粗测的值达到1万欧，一般不都是几十到几百欧吗，甚是不解，想请问各位什么原因？谢谢 这是实验参数：射频100W，玻璃衬底200度，气压0.5pa，Ar35sccm，30min |
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mingxu
铁杆木虫 (正式写手)
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11楼2013-12-05 17:23:01
maya5428
铜虫 (小有名气)
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3楼2013-12-05 13:29:18
孤傲的王子
金虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2013-12-05 14:06:30
zhenwuhuang
至尊木虫 (文学泰斗)
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
孤傲的王子: 金币+2, 看了下，氧空位存在时有助于提升导电性。你说通通H2会不会好点？ 2013-12-05 14:37:52
感谢参与，应助指数 +1
孤傲的王子: 金币+2, 看了下，氧空位存在时有助于提升导电性。你说通通H2会不会好点？ 2013-12-05 14:37:52
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双靶反应磁控共溅射制备AL 掺杂ZNO 薄膜及其光电性能 http://www.doc88.com/p-315622005479.html |
5楼2013-12-05 14:32:39