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creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 有在玻璃上磁控溅射上金做电极吗?

我想知道在如果想在玻璃上磁控溅射金做电极之后,你们怎么清洗这些电极,感觉很脆,不敢去超声。
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
seagrove: 金币+1, 感谢应助交流 2012-09-18 10:20:34
金的附着力很差,浸泡常常会导致Au层松脱,一般没有必要清洗,真空腔拿出来直接用最好。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-09-18 10:11:27
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creepon

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-09-18 10:11:27
金的附着力很差,浸泡常常会导致Au层松脱,一般没有必要清洗,真空腔拿出来直接用最好。

打底后是不是会好点
3楼2012-09-18 10:30:06
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

当然好得多,一般用Cr, or Ti作为粘连层,10-20 nm左右的厚度。Au层厚度50-200 nm都可以。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
4楼2012-09-18 11:31:59
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creepon

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-09-18 11:31:59
当然好得多,一般用Cr, or Ti作为粘连层,10-20 nm左右的厚度。Au层厚度50-200 nm都可以。

谢谢,还有个问题,那打底后怎么清洗,可以超声吗
5楼2012-09-19 10:43:47
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

才做好的电极,没必要超声清洗,你如果认为表面污染的话,最多在有机溶剂中浸泡一下,如果实在想超声的话,也得温柔点,低功率,短时间。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
6楼2012-09-19 10:48:12
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creepon

铁虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-09-19 10:48:12
才做好的电极,没必要超声清洗,你如果认为表面污染的话,最多在有机溶剂中浸泡一下,如果实在想超声的话,也得温柔点,低功率,短时间。

我是在别的实验室做好,拿回来再把没用的地方刻蚀掉,可是以后电极有点脏了,所以要洗。

有个问题想问下你:你有用过钛或者氧化钛打底吗?这些东西怎么去除
7楼2012-09-19 12:39:31
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

我是通过电子胶作掩模制作图案,不需要除掉底层Ti.
估计你是先做一层金属膜,再用激光刻蚀成图案,就需要除掉Ti,激光打掉Ti估计要费些功夫,也可以考虑Cr。如果你实验室用的次数少,时间短的话,热处理好的话,不要垫底,短时间用也许还行。溅射法沉积的效果比蒸发法好得多。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
8楼2012-09-19 13:31:37
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