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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射做薄膜失败了吗
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与

请问大家一个问题：
  我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。
  请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！
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1楼 2011-12-30 13:59:02
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): 2012-02-15 14:11:18
呵呵呵，经典的问题，以前我也有过这样的问题，你做的氧化铈薄膜有多厚？
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4楼2012-02-02 13:29:06
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2011-12-30 19:44:17
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-30 19:44:17:
你是通过掩膜板来做电极的吗？  是否电极间距离太小？  

如果需做高精度的掩膜板请联系我们。

不是，垂直电极，不是表面电极。。
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3楼2012-01-01 16:48:34
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
悠然zx11(金币+3): 多谢参与应助~欢迎常来^0^ 2012-02-05 09:49:08
惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:29
建议你第一步把样品的四周部分都切掉，这样才能保证“侧面绝对没有粘上Pt”
2，如果薄膜<50nm，短路的可能性很大
3，看你是怎么连接2个电极，是压铟还是电焊，或者直接用探针，都matter，比如探针可以刺穿pt和薄膜，。。。。。
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5楼2012-02-02 13:33:33
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