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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 磁控溅射在玻璃片上镀了一层AZO薄膜，如何表征
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han34912

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射在玻璃片上镀了一层AZO薄膜，如何表征

现在还在摸索工艺，所以我也不确定是否在玻璃片成功得镀上了薄膜

我该如何确定玻璃片上生长了AZO薄膜。我利用四探针去测方块电阻，但是失败了 。。。操作仪器说测不了，但不确定原因

我还考虑做一下XRD，但是如果我的薄膜不致密的话，X射线照射的部位如果没有薄膜，可能会找到玻璃吧

现在很纠结 求助高人啊
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1楼 2012-10-13 15:59:44
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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han34912: 金币+2, ★有帮助 2012-10-14 22:38:08
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-15 07:31:21
我原来用PLD做过AZO，四探针可以测出电阻啊，你不要压得太深，也不要没接触上；另，AZO很好结晶的，XRD应该可以测出峰，如果没有，薄膜的峰应该像一个山包，鼓着的，没有尖锐的峰。
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2楼2012-10-13 18:57:51
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whit

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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han34912: 金币+2, ★有帮助 2012-10-14 22:38:56
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-15 07:31:30
做XRD比较简单，ZnO容易结晶，磁控溅射的话XRD应该能表征。
另外，Raman测试应该也可以表征出来的，还有就是做光致发光测试(PL谱，荧光光谱仪）应该也能判断你镀的AZO薄膜。
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3楼2012-10-14 00:21:38
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floljf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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han34912: 金币+2, ★有帮助 2012-10-14 22:40:54
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-15 07:32:21
玻璃是非晶啊，你用的衬底温度是多少？ZnO比较好结晶，可以做XRD比较一下。
此外，好奇问一下，为什么你的四探针测电阻失败了？你为什么说失败了？不行的话，你可以用万用表简单的打一下电阻，如果几十欧姆也是正常的
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4楼2012-10-14 09:00:14
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changhu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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han34912: 金币+1, ★有帮助 2012-10-14 22:43:14
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流，在详细说明下就好了 2012-10-15 07:33:04
SEM,xrd,透射谱，等。拉曼测不出来。
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5楼2012-10-14 10:35:14
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han34912

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-13 18:57:51
我原来用PLD做过AZO，四探针可以测出电阻啊，你不要压得太深，也不要没接触上；另，AZO很好结晶的，XRD应该可以测出峰，如果没有，薄膜的峰应该像一个山包，鼓着的，没有尖锐的峰。

XRD会不会做到的是玻璃衬底呢？
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6楼2012-10-14 22:38:33
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han34912

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by floljf at 2012-10-14 09:00:14
玻璃是非晶啊，你用的衬底温度是多少？ZnO比较好结晶，可以做XRD比较一下。
此外，好奇问一下，为什么你的四探针测电阻失败了？你为什么说失败了？不行的话，你可以用万用表简单的打一下电阻，如果几十欧姆也是正常 ...

我的衬底是在室温下镀的膜

四探针不是我做的 操作的人告诉我 系统总是提示测量失败 而使用他那里的校准的硅片做的话 就可以正常的测量 他说也可能样品电阻率在测量范围之外 具体他也不清楚
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7楼2012-10-14 22:43:01
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by han34912 at 2012-10-14 22:38:33
XRD会不会做到的是玻璃衬底呢？...

如果是玻璃衬底就是一个小鼓包，如果是AZO的话，应该有尖锐的峰
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8楼2012-10-15 09:00:38
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明月千里

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-16 07:49:42
最简单的方法是用UV-Vis测一下transmittance谱，如果有膜的话就会出ZnO的特征吸收边（380nm左右），即使数十纳米厚的薄膜也可以测出的。四探针没能测出电阻是因为电阻太大超出了测量量程，以前也碰到过类似情况。
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9楼2012-10-15 09:35:54
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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结晶好的话，一般XRD就可以测出来，实在不行就做掠入射XRD，
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
10楼2012-10-15 19:36:41
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