24小时热门版块排行榜    

查看: 2104  |  回复: 12

han34912

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射在玻璃片上镀了一层AZO薄膜,如何表征

现在还在摸索工艺,所以我也不确定是否在玻璃片成功得镀上了薄膜

我该如何确定玻璃片上生长了AZO薄膜。我利用四探针去测方块电阻,但是失败了 。。。操作仪器说测不了,但不确定原因

我还考虑做一下XRD,但是如果我的薄膜不致密的话,X射线照射的部位如果没有薄膜,可能会找到玻璃吧

现在很纠结 求助高人啊
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
han34912: 金币+2, 有帮助 2012-10-14 22:38:08
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-15 07:31:21
我原来用PLD做过AZO,四探针可以测出电阻啊,你不要压得太深,也不要没接触上;另,AZO很好结晶的,XRD应该可以测出峰,如果没有,薄膜的峰应该像一个山包,鼓着的,没有尖锐的峰。
2楼2012-10-13 18:57:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whit

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
han34912: 金币+2, 有帮助 2012-10-14 22:38:56
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-15 07:31:30
做XRD比较简单,ZnO容易结晶,磁控溅射的话XRD应该能表征。
另外,Raman测试应该也可以表征出来的,还有就是做光致发光测试(PL谱,荧光光谱仪)应该也能判断你镀的AZO薄膜。
3楼2012-10-14 00:21:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
han34912: 金币+2, 有帮助 2012-10-14 22:40:54
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-15 07:32:21
玻璃是非晶啊,你用的衬底温度是多少?ZnO比较好结晶,可以做XRD比较一下。
此外,好奇问一下,为什么你的四探针测电阻失败了?你为什么说失败了?不行的话,你可以用万用表简单的打一下电阻,如果几十欧姆也是正常的
4楼2012-10-14 09:00:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

changhu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
han34912: 金币+1, 有帮助 2012-10-14 22:43:14
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流,在详细说明下就好了 2012-10-15 07:33:04
SEM,xrd,透射谱,等。拉曼测不出来。
5楼2012-10-14 10:35:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

han34912

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-13 18:57:51
我原来用PLD做过AZO,四探针可以测出电阻啊,你不要压得太深,也不要没接触上;另,AZO很好结晶的,XRD应该可以测出峰,如果没有,薄膜的峰应该像一个山包,鼓着的,没有尖锐的峰。

XRD会不会做到的是玻璃衬底呢?
6楼2012-10-14 22:38:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

han34912

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by floljf at 2012-10-14 09:00:14
玻璃是非晶啊,你用的衬底温度是多少?ZnO比较好结晶,可以做XRD比较一下。
此外,好奇问一下,为什么你的四探针测电阻失败了?你为什么说失败了?不行的话,你可以用万用表简单的打一下电阻,如果几十欧姆也是正常 ...

我的衬底是在室温下镀的膜

四探针不是我做的 操作的人告诉我 系统总是提示测量失败 而使用他那里的校准的硅片做的话 就可以正常的测量 他说也可能样品电阻率在测量范围之外 具体他也不清楚
7楼2012-10-14 22:43:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by han34912 at 2012-10-14 22:38:33
XRD会不会做到的是玻璃衬底呢?...

如果是玻璃衬底就是一个小鼓包,如果是AZO的话,应该有尖锐的峰
8楼2012-10-15 09:00:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

明月千里

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-16 07:49:42
最简单的方法是用UV-Vis测一下transmittance谱,如果有膜的话就会出ZnO的特征吸收边(380nm左右),即使数十纳米厚的薄膜也可以测出的。四探针没能测出电阻是因为电阻太大超出了测量量程,以前也碰到过类似情况。
9楼2012-10-15 09:35:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
结晶好的话,一般XRD就可以测出来,实在不行就做掠入射XRD,
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
10楼2012-10-15 19:36:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 han34912 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 要骂人了,新模版改版就是要淡化问题凝练这种虚的东西,结果有个评委还在说凝练得不够 +6 瞬息宇宙 2026-08-31 12/600 2026-09-02 10:49 by 瞬息宇宙
[基金申请] 科研人应该花精力去思考如何解决问题,而不是去凝练问题 +4 瞬息宇宙 2026-09-01 8/400 2026-09-02 10:35 by 瞬息宇宙
[基金申请] 我不理解! +16 Edward_pc 2026-08-26 24/1200 2026-09-02 10:32 by newfuzzy1
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +17 晴天加油 2026-08-26 19/950 2026-09-02 10:07 by 奶奶的心意
[基金申请] 面上合作单位盖章 +6 ssyjh 2026-08-27 9/450 2026-09-01 20:01 by huagongfeihu
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高,自己申请怎么就这么难 +13 Kittylucky 2026-08-27 14/700 2026-09-01 11:06 by feng6531
[论文投稿] 小白求助 投论文要求的highlights应该如何写 5+3 l1963982152 2026-08-29 4/200 2026-09-01 09:04 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 国社科又开始会评了,不知道这次命运如何 +7 雨打竹帘 2026-08-30 11/550 2026-08-31 23:16 by hittle2008
[基金申请] 哪位高人中了,把查询到的截图贴出来让我看看,让我长长见识 +6 yuleib84 2026-08-26 7/350 2026-08-31 19:46 by 鱼翔浅底1
[基金申请] 面上意见出来了 +12 黄鸟于飞Chao 2026-08-29 23/1150 2026-08-31 18:57 by 黄鸟于飞Chao
[基金申请] 能否申诉? +7 echo8914667 2026-08-30 8/400 2026-08-31 17:00 by yihongxu
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗? +7 349506619 2026-08-28 7/350 2026-08-31 13:39 by 冼亮淀粉酶
[基金申请] 29号明天会评吗 +4 笨笨唐 2026-08-28 4/200 2026-08-31 09:30 by huixian257
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +7 德尚中行 2026-08-27 8/400 2026-08-30 20:52 by purplejack
[考博] 找导师 +6 yuanjiabao 2026-08-29 7/350 2026-08-30 14:40 by 生科新手
[基金申请] 我就是申请一个面上项目而已,这评审意见是按照杰青的条件评的吧? +6 gouxfjh 2026-08-28 11/550 2026-08-30 07:57 by gouxfjh
[基金申请] 国自然评审意见 +13 wangmingqi 2026-08-28 19/950 2026-08-29 10:22 by Poppy1104
[基金申请] 2026年叶企孙基金 +4 bud_bud 2026-08-27 7/350 2026-08-29 07:23 by foolishmani
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 看板上这么多中的,有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
信息提示
请填处理意见